Elektronenmikroskopische Querschnittsabbildung : von Interfaces und Heterostrukturen in Halbleitern
Gespeichert in:
| Autor*in: |
Bartsch, Heinz [verfasserIn] Gerstengarbe, Hans-Christian [verfasserIn] Woltersdorf, Jörg [verfasserIn] |
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| Format: |
E-Book |
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| Sprache: |
Deutsch |
| Erschienen: |
Berlin Boston: De Gruyter ; 1987 Erscheinungsort nicht ermittelbar: Akademie-Verlag Berlin ; 1987 1987 |
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| Ausgabe: |
Reprint 2024 |
| Rechteinformationen: |
Restricted Access |
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| Schlagwörter: |
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| Umfang: |
1 Online-Ressource (96 p.) ; Mit 47 Abbildungen |
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| Reihe: |
Beiträge zur Forschungstechnologie ; Schriftenreihe für Experimentalmethodik, Systemanalyse und Instrumentierung in der naturwissenschaftlichen, medizinischen und technischen Forschung ; 15 |
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| ISBN: |
978-3-11-273647-0 |
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Querschnittsabbildungen epitaktischer Halbleiterschichten -- 4. HREM-Untersuchungen von querschnittspräparierten Halbleiter/Oxid-Grenzflächen -- 5. Abkürzungsverzeichnis -- 6. Abbildungsverzeichnis -- 7. Literatur -- 8. Sachregister -- 9. Zusammenfassung / Summary / Реаюме -- Nachwort der Herausgeber Restricted Access Controlled Vocabulary for Access Rights http://purl.org/coar/access_right/c_16ec online access with authorization coarar Issued also in print Issued also in print In German SCIENCE / Electron Microscopes & Microscopy Gerstengarbe, Hans-Christian verfasserin aut Woltersdorf, Jörg verfasserin aut 9783112736463 : print Erscheint auch als print 9783112736463 https://doi.org/10.1515/9783112736470 X:GRUY Resolving-System lizenzpflichtig https://www.degruyter.com/isbn/9783112736470 X:GRUY Verlag lizenzpflichtig https://www.degruyter.com/document/cover/isbn/9783112736470/original X:GRUY Verlag Cover EBA-BACKALL EBA-CL-MTPY EBA-DGALL EBA-EBKALL EBA-STMALL GBV-deGruyter-alles ZDB-23-DGAK ZDB-23-GBA GBV_ILN_21 ISIL_DE-46 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_22 ISIL_DE-18 GBV_ILN_23 ISIL_DE-830 GBV_ILN_24 ISIL_DE-8 GBV_ILN_34 ISIL_DE-18-302 GBV_ILN_62 ISIL_DE-28 GBV_ILN_65 ISIL_DE-3 GBV_ILN_69 ISIL_DE-9 GBV_ILN_90 ISIL_DE-Hil2 GBV_ILN_110 ISIL_DE-Luen4 GBV_ILN_122 ISIL_DE-897 GBV_ILN_130 ISIL_DE-700 GBV_ILN_140 ISIL_DE-839 GBV_ILN_147 ISIL_DE-Fl3 GBV_ILN_264 ISIL_DE-897-1 GBV_ILN_285 ISIL_DE-517 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 GBV_ILN_736 GBV_ILN_2001 ISIL_DE-21 GBV_ILN_2006 ISIL_DE-14 GBV_ILN_2010 ISIL_DE-15 GBV_ILN_2020 ISIL_DE-Ch1 GBV_ILN_2027 ISIL_DE-105 GBV_ILN_2044 ISIL_DE-751 GBV_ILN_2045 ISIL_DE-Mit1 GBV_ILN_2050 ISIL_DE-Zi4 GBV_ILN_2063 ISIL_DE-951 GBV_ILN_2118 ISIL_DE-Mh35 BO 045F 537.6226 21 01 0046 4580888774 ebook_2023_degruyter_ebs Freie Nutzung im <a href="http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:46-campusnetz9" Target="_blank">Campusnetz</a> der Universitaet und der Hochschulen im Lande Bremen zza 17-09-24 22 01 0018 4580910125 00 --%%-- --%%-- s --%%-- SUBedegebs zu 17-09-24 23 01 0830 4580980212 olr-degruyter3 i z 18-09-24 24 01 0008 4581044057 00 --%%-- --%%-- s --%%-- olr-dgebs Vervielfältigungen (z.B. 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Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. z 18-09-24 264 01 3264 4580867718 OLR-deGruyter-EBS Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. z 17-09-24 285 01 0517 4590495775 OLR-GRUY-TEST Zugriff zeitlich begrenzt (EBS) Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. z 10-10-24 370 01 4370 4580780787 EBS deGruyter Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. i z 17-09-24 736 01 4736 458064767X DeGryuterEBS2024 verv zeg 17-09-24 2001 01 DE-21 4574174579 00 --%%-- --%%-- --%%-- kp l01 03-09-24 2006 01 DE-14 4574377984 00 --%%-- --%%-- --%%-- --%%-- l01 03-09-24 2010 01 DE-15 4574174587 00 --%%-- --%%-- --%%-- n Elektronischer Volltext - Campuslizenz l01 03-09-24 2020 01 DE-Ch1 457437800X 00 --%%-- --%%-- --%%-- n Campuslizenz l01 03-09-24 2027 01 DE-105 4574174595 00 --%%-- --%%-- --%%-- n Campuslizenz l01 03-09-24 2044 01 DE-751 4585182144 00 --%%-- eBook de Gruyter --%%-- n Campuslizenz bis 30.09.2025. Bitte beachten Sie die Nutzungshinweise auf unserer Homepage (de Gruyter) l01 01-10-24 2045 01 DE-Mit1 4574378026 00 --%%-- --%%-- --%%-- n Volltext - Campuslizenz l01 03-09-24 2050 01 DE-Zi4 4574378042 00 --%%-- --%%-- --%%-- n Zugriff im HSZG-Campusnetz. 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9783112736470 978-3-11-273647-0 10.1515/9783112736470 doi (DE-627)1900957981 (DE-599)KEP106657178 (DE-B1597)689699 (EBP)106657178 DE-627 eng DE-627 rda ger XA-DE SCI023000 bisacsh Bartsch, Heinz verfasserin aut Elektronenmikroskopische Querschnittsabbildung von Interfaces und Heterostrukturen in Halbleitern Heinz Bartsch, Peter Werner, Hans-Christian Gerstengarbe, Jörg Woltersdorf Reprint 2024 Berlin Boston De Gruyter [1987] [Erscheinungsort nicht ermittelbar] Akademie-Verlag Berlin [1987] 1987 1 Online-Ressource (96 p.) Mit 47 Abbildungen Text txt rdacontent Computermedien c rdamedia Online-Ressource cr rdacarrier Beiträge zur Forschungstechnologie 15 Schriftenreihe für Experimentalmethodik, Systemanalyse und Instrumentierung in der naturwissenschaftlichen, medizinischen und technischen Forschung Frontmatter -- Geleitwort -- Vorwort -- Inhalt / Contents / Содержание -- 1. Einleitung -- 2. Querschnittsabbildung ionenimplantierter Siliciumschichten -- 3. Querschnittsabbildungen epitaktischer Halbleiterschichten -- 4. HREM-Untersuchungen von querschnittspräparierten Halbleiter/Oxid-Grenzflächen -- 5. Abkürzungsverzeichnis -- 6. Abbildungsverzeichnis -- 7. Literatur -- 8. Sachregister -- 9. Zusammenfassung / Summary / Реаюме -- Nachwort der Herausgeber Restricted Access Controlled Vocabulary for Access Rights http://purl.org/coar/access_right/c_16ec online access with authorization coarar Issued also in print Issued also in print In German SCIENCE / Electron Microscopes & Microscopy Gerstengarbe, Hans-Christian verfasserin aut Woltersdorf, Jörg verfasserin aut 9783112736463 : print Erscheint auch als print 9783112736463 https://doi.org/10.1515/9783112736470 X:GRUY Resolving-System lizenzpflichtig https://www.degruyter.com/isbn/9783112736470 X:GRUY Verlag lizenzpflichtig https://www.degruyter.com/document/cover/isbn/9783112736470/original X:GRUY Verlag Cover EBA-BACKALL EBA-CL-MTPY EBA-DGALL EBA-EBKALL EBA-STMALL GBV-deGruyter-alles ZDB-23-DGAK ZDB-23-GBA GBV_ILN_21 ISIL_DE-46 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_22 ISIL_DE-18 GBV_ILN_23 ISIL_DE-830 GBV_ILN_24 ISIL_DE-8 GBV_ILN_34 ISIL_DE-18-302 GBV_ILN_62 ISIL_DE-28 GBV_ILN_65 ISIL_DE-3 GBV_ILN_69 ISIL_DE-9 GBV_ILN_90 ISIL_DE-Hil2 GBV_ILN_110 ISIL_DE-Luen4 GBV_ILN_122 ISIL_DE-897 GBV_ILN_130 ISIL_DE-700 GBV_ILN_140 ISIL_DE-839 GBV_ILN_147 ISIL_DE-Fl3 GBV_ILN_264 ISIL_DE-897-1 GBV_ILN_285 ISIL_DE-517 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 GBV_ILN_736 GBV_ILN_2001 ISIL_DE-21 GBV_ILN_2006 ISIL_DE-14 GBV_ILN_2010 ISIL_DE-15 GBV_ILN_2020 ISIL_DE-Ch1 GBV_ILN_2027 ISIL_DE-105 GBV_ILN_2044 ISIL_DE-751 GBV_ILN_2045 ISIL_DE-Mit1 GBV_ILN_2050 ISIL_DE-Zi4 GBV_ILN_2063 ISIL_DE-951 GBV_ILN_2118 ISIL_DE-Mh35 BO 045F 537.6226 21 01 0046 4580888774 ebook_2023_degruyter_ebs Freie Nutzung im <a href="http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:46-campusnetz9" Target="_blank">Campusnetz</a> der Universitaet und der Hochschulen im Lande Bremen zza 17-09-24 22 01 0018 4580910125 00 --%%-- --%%-- s --%%-- SUBedegebs zu 17-09-24 23 01 0830 4580980212 olr-degruyter3 i z 18-09-24 24 01 0008 4581044057 00 --%%-- --%%-- s --%%-- olr-dgebs Vervielfältigungen (z.B. 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Querschnittsabbildungen epitaktischer Halbleiterschichten -- 4. HREM-Untersuchungen von querschnittspräparierten Halbleiter/Oxid-Grenzflächen -- 5. Abkürzungsverzeichnis -- 6. Abbildungsverzeichnis -- 7. Literatur -- 8. Sachregister -- 9. Zusammenfassung / Summary / Реаюме -- Nachwort der Herausgeber Restricted Access Controlled Vocabulary for Access Rights http://purl.org/coar/access_right/c_16ec online access with authorization coarar Issued also in print Issued also in print In German SCIENCE / Electron Microscopes & Microscopy Gerstengarbe, Hans-Christian verfasserin aut Woltersdorf, Jörg verfasserin aut 9783112736463 : print Erscheint auch als print 9783112736463 https://doi.org/10.1515/9783112736470 X:GRUY Resolving-System lizenzpflichtig https://www.degruyter.com/isbn/9783112736470 X:GRUY Verlag lizenzpflichtig https://www.degruyter.com/document/cover/isbn/9783112736470/original X:GRUY Verlag Cover EBA-BACKALL EBA-CL-MTPY EBA-DGALL EBA-EBKALL EBA-STMALL GBV-deGruyter-alles ZDB-23-DGAK ZDB-23-GBA GBV_ILN_21 ISIL_DE-46 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_22 ISIL_DE-18 GBV_ILN_23 ISIL_DE-830 GBV_ILN_24 ISIL_DE-8 GBV_ILN_34 ISIL_DE-18-302 GBV_ILN_62 ISIL_DE-28 GBV_ILN_65 ISIL_DE-3 GBV_ILN_69 ISIL_DE-9 GBV_ILN_90 ISIL_DE-Hil2 GBV_ILN_110 ISIL_DE-Luen4 GBV_ILN_122 ISIL_DE-897 GBV_ILN_130 ISIL_DE-700 GBV_ILN_140 ISIL_DE-839 GBV_ILN_147 ISIL_DE-Fl3 GBV_ILN_264 ISIL_DE-897-1 GBV_ILN_285 ISIL_DE-517 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 GBV_ILN_736 GBV_ILN_2001 ISIL_DE-21 GBV_ILN_2006 ISIL_DE-14 GBV_ILN_2010 ISIL_DE-15 GBV_ILN_2020 ISIL_DE-Ch1 GBV_ILN_2027 ISIL_DE-105 GBV_ILN_2044 ISIL_DE-751 GBV_ILN_2045 ISIL_DE-Mit1 GBV_ILN_2050 ISIL_DE-Zi4 GBV_ILN_2063 ISIL_DE-951 GBV_ILN_2118 ISIL_DE-Mh35 BO 045F 537.6226 21 01 0046 4580888774 ebook_2023_degruyter_ebs Freie Nutzung im <a href="http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:46-campusnetz9" Target="_blank">Campusnetz</a> der Universitaet und der Hochschulen im Lande Bremen zza 17-09-24 22 01 0018 4580910125 00 --%%-- --%%-- s --%%-- SUBedegebs zu 17-09-24 23 01 0830 4580980212 olr-degruyter3 i z 18-09-24 24 01 0008 4581044057 00 --%%-- --%%-- s --%%-- olr-dgebs Vervielfältigungen (z.B. 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Querschnittsabbildungen epitaktischer Halbleiterschichten -- 4. HREM-Untersuchungen von querschnittspräparierten Halbleiter/Oxid-Grenzflächen -- 5. Abkürzungsverzeichnis -- 6. Abbildungsverzeichnis -- 7. Literatur -- 8. Sachregister -- 9. Zusammenfassung / Summary / Реаюме -- Nachwort der Herausgeber Restricted Access Controlled Vocabulary for Access Rights http://purl.org/coar/access_right/c_16ec online access with authorization coarar Issued also in print Issued also in print In German SCIENCE / Electron Microscopes & Microscopy Gerstengarbe, Hans-Christian verfasserin aut Woltersdorf, Jörg verfasserin aut 9783112736463 : print Erscheint auch als print 9783112736463 https://doi.org/10.1515/9783112736470 X:GRUY Resolving-System lizenzpflichtig https://www.degruyter.com/isbn/9783112736470 X:GRUY Verlag lizenzpflichtig https://www.degruyter.com/document/cover/isbn/9783112736470/original X:GRUY Verlag Cover EBA-BACKALL EBA-CL-MTPY EBA-DGALL EBA-EBKALL EBA-STMALL GBV-deGruyter-alles ZDB-23-DGAK ZDB-23-GBA GBV_ILN_21 ISIL_DE-46 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_22 ISIL_DE-18 GBV_ILN_23 ISIL_DE-830 GBV_ILN_24 ISIL_DE-8 GBV_ILN_34 ISIL_DE-18-302 GBV_ILN_62 ISIL_DE-28 GBV_ILN_65 ISIL_DE-3 GBV_ILN_69 ISIL_DE-9 GBV_ILN_90 ISIL_DE-Hil2 GBV_ILN_110 ISIL_DE-Luen4 GBV_ILN_122 ISIL_DE-897 GBV_ILN_130 ISIL_DE-700 GBV_ILN_140 ISIL_DE-839 GBV_ILN_147 ISIL_DE-Fl3 GBV_ILN_264 ISIL_DE-897-1 GBV_ILN_285 ISIL_DE-517 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 GBV_ILN_736 GBV_ILN_2001 ISIL_DE-21 GBV_ILN_2006 ISIL_DE-14 GBV_ILN_2010 ISIL_DE-15 GBV_ILN_2020 ISIL_DE-Ch1 GBV_ILN_2027 ISIL_DE-105 GBV_ILN_2044 ISIL_DE-751 GBV_ILN_2045 ISIL_DE-Mit1 GBV_ILN_2050 ISIL_DE-Zi4 GBV_ILN_2063 ISIL_DE-951 GBV_ILN_2118 ISIL_DE-Mh35 BO 045F 537.6226 21 01 0046 4580888774 ebook_2023_degruyter_ebs Freie Nutzung im <a href="http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:46-campusnetz9" Target="_blank">Campusnetz</a> der Universitaet und der Hochschulen im Lande Bremen zza 17-09-24 22 01 0018 4580910125 00 --%%-- --%%-- s --%%-- SUBedegebs zu 17-09-24 23 01 0830 4580980212 olr-degruyter3 i z 18-09-24 24 01 0008 4581044057 00 --%%-- --%%-- s --%%-- olr-dgebs Vervielfältigungen (z.B. 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Zusammenfassung / Summary / Реаюме -- Nachwort der Herausgeber</subfield></datafield><datafield tag="506" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Restricted Access</subfield><subfield code="e">Controlled Vocabulary for Access Rights</subfield><subfield code="u">http://purl.org/coar/access_right/c_16ec</subfield><subfield code="f">online access with authorization</subfield><subfield code="2">coarar</subfield></datafield><datafield tag="530" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Issued also in print</subfield></datafield><datafield tag="533" ind1=" " ind2=" "><subfield code="n">Issued also in print</subfield></datafield><datafield tag="546" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">In German</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">SCIENCE / Electron Microscopes & Microscopy</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Gerstengarbe, Hans-Christian</subfield><subfield code="e">verfasserin</subfield><subfield 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Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="k">Zugriff auf den Volltext nur für Universitätsangehörige innerhalb des Netzes der Universität Kiel (Campuslizenz).</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">18-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">34</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3551</subfield><subfield code="b">4580749146</subfield><subfield code="h">OLR-EBAKALL-EBS</subfield><subfield code="k">Zugriff nur im Netz der HAW Hamburg</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">17-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">62</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0028</subfield><subfield code="b">4579625722</subfield><subfield code="h">OLR-DGAK</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">14-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">65</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0003</subfield><subfield code="b">4581144620</subfield><subfield code="h">DeGruyter-EBA</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">18-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">69</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0009</subfield><subfield code="b">4581001552</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="u">BF_dG</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">18-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">90</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3090</subfield><subfield code="b">4581022886</subfield><subfield code="h">OLR-HILdegruyter</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">18-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">110</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3110</subfield><subfield code="b">4581065348</subfield><subfield code="h">OLR-DEGRUYTER-EBS-2018</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="k">Volltextzugriff nur für berechtigte Personen über das Campusnetz</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">18-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">122</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0897</subfield><subfield code="b">4580825012</subfield><subfield code="h">OLR-deGruyter-EBS</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">17-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">130</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0700</subfield><subfield code="b">4581121337</subfield><subfield code="h">OLR-deGruyter-EBA-EBKALL</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">18-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">140</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0839</subfield><subfield code="b">4580846362</subfield><subfield code="h">OLR-deGruyter-EBS</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">17-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">147</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3528</subfield><subfield code="b">4581165938</subfield><subfield code="h">OLR-EBS-DG</subfield><subfield code="k">Multiuser | freigeschaltet für Europa-Universität Flensburg, Hochschule Flensburg und Zentrale Hochschulbibliothek</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">18-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">264</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3264</subfield><subfield code="b">4580867718</subfield><subfield code="h">OLR-deGruyter-EBS</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">17-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">285</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0517</subfield><subfield code="b">4590495775</subfield><subfield code="h">OLR-GRUY-TEST</subfield><subfield code="k">Zugriff zeitlich begrenzt (EBS)</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. 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Beiträge zur Forschungstechnologie Schriftenreihe für Experimentalmethodik, Systemanalyse und Instrumentierung in der naturwissenschaftlichen, medizinischen und technischen Forschung |
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Bartsch, Heinz |
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Bartsch, Heinz Frontmatter -- Geleitwort -- Vorwort -- Inhalt / Contents / Содержание -- 1. Einleitung -- 2. Querschnittsabbildung ionenimplantierter Siliciumschichten -- 3. Querschnittsabbildungen epitaktischer Halbleiterschichten -- 4. HREM-Untersuchungen von querschnittspräparierten Halbleiter/Oxid-Grenzflächen -- 5. Abkürzungsverzeichnis -- 6. Abbildungsverzeichnis -- 7. Literatur -- 8. Sachregister -- 9. Zusammenfassung / Summary / Реаюме -- Nachwort der Herausgeber misc SCIENCE / Electron Microscopes & Microscopy 2001 eBook-DeGruyter-EBS-2021-2022 2027 ebook Elektronenmikroskopische Querschnittsabbildung von Interfaces und Heterostrukturen in Halbleitern |
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Bartsch, Heinz |
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Frontmatter -- Geleitwort -- Vorwort -- Inhalt / Contents / Содержание -- 1. Einleitung -- 2. Querschnittsabbildung ionenimplantierter Siliciumschichten -- 3. Querschnittsabbildungen epitaktischer Halbleiterschichten -- 4. HREM-Untersuchungen von querschnittspräparierten Halbleiter/Oxid-Grenzflächen -- 5. Abkürzungsverzeichnis -- 6. Abbildungsverzeichnis -- 7. Literatur -- 8. Sachregister -- 9. Zusammenfassung / Summary / Реаюме -- Nachwort der Herausgeber |
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2001 01 DE-21 00 s eBook-DeGruyter-EBS-2021-2022 2027 01 DE-105 00 s ebook Elektronenmikroskopische Querschnittsabbildung von Interfaces und Heterostrukturen in Halbleitern Heinz Bartsch, Peter Werner, Hans-Christian Gerstengarbe, Jörg Woltersdorf SCIENCE / Electron Microscopes & Microscopy |
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Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="k">Zugriff auf den Volltext nur für Universitätsangehörige innerhalb des Netzes der Universität Kiel (Campuslizenz).</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">18-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">34</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3551</subfield><subfield code="b">4580749146</subfield><subfield code="h">OLR-EBAKALL-EBS</subfield><subfield code="k">Zugriff nur im Netz der HAW Hamburg</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">17-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">62</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0028</subfield><subfield code="b">4579625722</subfield><subfield code="h">OLR-DGAK</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">14-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">65</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0003</subfield><subfield code="b">4581144620</subfield><subfield code="h">DeGruyter-EBA</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">18-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">69</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0009</subfield><subfield code="b">4581001552</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="u">BF_dG</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">18-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">90</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3090</subfield><subfield code="b">4581022886</subfield><subfield code="h">OLR-HILdegruyter</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">18-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">110</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3110</subfield><subfield code="b">4581065348</subfield><subfield code="h">OLR-DEGRUYTER-EBS-2018</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="k">Volltextzugriff nur für berechtigte Personen über das Campusnetz</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">18-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">122</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0897</subfield><subfield code="b">4580825012</subfield><subfield code="h">OLR-deGruyter-EBS</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">17-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">130</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0700</subfield><subfield code="b">4581121337</subfield><subfield code="h">OLR-deGruyter-EBA-EBKALL</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">18-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">140</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0839</subfield><subfield code="b">4580846362</subfield><subfield code="h">OLR-deGruyter-EBS</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">17-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">147</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3528</subfield><subfield code="b">4581165938</subfield><subfield code="h">OLR-EBS-DG</subfield><subfield code="k">Multiuser | freigeschaltet für Europa-Universität Flensburg, Hochschule Flensburg und Zentrale Hochschulbibliothek</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">18-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">264</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3264</subfield><subfield code="b">4580867718</subfield><subfield code="h">OLR-deGruyter-EBS</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">17-09-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">285</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0517</subfield><subfield code="b">4590495775</subfield><subfield code="h">OLR-GRUY-TEST</subfield><subfield code="k">Zugriff zeitlich begrenzt (EBS)</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. 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