Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen

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Autor*in:	Nehrig, Oliver - 1969-
Hochschulschrift:	Essen, Univ., Diss, 2003

Format:	E-Book
Sprache:	Deutsch

Erschienen:	2003

Schlagwörter:	Manipulator / Schwerlast / Beschleunigungssensor / Kapazitiver Sensor / Siliciumsensor / Mikromechanik
Formangabe:	Hochschulschrift

Links:	Link aufrufen Volltext Volltext Volltext

Katalog-ID:	367204266

Internformat


LEADER	01000cam a22002652 4500
001	367204266
003	DE-627
005	20240130015818.0
007	cr uuu---uuuuu
008	030731s2003 gw \|\|\|\|\|om 00\| \|\|ger c
015			\|a 03,H08,3041 \|2 dnb
016	7		\|a 967968259 \|2 DE-101
035			\|a (DE-627)367204266
035			\|a (DE-599)DNB967968259
035			\|a (OCoLC)76539221
040			\|a DE-627 \|b ger \|c DE-627 \|e rakwb
041			\|a ger
044			\|c XA-DE
084			\|a 36 \|a 38 \|a 37 \|2 sdnb
245	1	0	\|a Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen \|c von Oliver Nehrig
264		1	\|c 2003
336			\|a Text \|b txt \|2 rdacontent
337			\|a Computermedien \|b c \|2 rdamedia
338			\|a Online-Ressource \|b cr \|2 rdacarrier
502			\|a Essen, Univ., Diss, 2003
655		7	\|a Hochschulschrift \|0 (DE-588)4113937-9 \|0 (DE-627)105825778 \|0 (DE-576)209480580 \|2 gnd-content
689	0	0	\|D s \|0 (DE-588)4037349-6 \|0 (DE-627)106238035 \|0 (DE-576)209023627 \|a Manipulator \|2 gnd
689	0	1	\|D s \|0 (DE-588)4576021-4 \|0 (DE-627)325118116 \|0 (DE-576)213883376 \|a Schwerlast \|2 gnd
689	0	2	\|D s \|0 (DE-588)4144872-8 \|0 (DE-627)105595063 \|0 (DE-576)209737239 \|a Beschleunigungssensor \|2 gnd
689	0	3	\|D s \|0 (DE-588)4209035-0 \|0 (DE-627)10510762X \|0 (DE-576)210189436 \|a Kapazitiver Sensor \|2 gnd
689	0	4	\|D s \|0 (DE-588)4193160-9 \|0 (DE-627)105229148 \|0 (DE-576)210085495 \|a Siliciumsensor \|2 gnd
689	0	5	\|D s \|0 (DE-588)4205811-9 \|0 (DE-627)10470361X \|0 (DE-576)210171197 \|a Mikromechanik \|2 gnd
689	0		\|5 DE-101
700	1		\|a Nehrig, Oliver \|d 1969- \|0 (DE-588)124780016 \|0 (DE-627)366049461 \|0 (DE-576)294498389 \|4 oth
751			\|a Essen \|4 uvp
856	4	0	\|u http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801/unrestricted/nehrigdiss.pdf \|x Verlag \|3 Volltext
856	4	0	\|u http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801 \|x Verlag \|3 Volltext
856	4	0	\|u http://d-nb.info/967968259 \|x Verlag \|3 Volltext
912			\|a GBV_ILN_20
912			\|a ISIL_DE-84
912			\|a SYSFLAG_1
912			\|a GBV_KXP
912			\|a GBV_ILN_21
912			\|a ISIL_DE-46
912			\|a GBV_ILN_22
912			\|a ISIL_DE-18
912			\|a GBV_ILN_30
912			\|a ISIL_DE-104
912			\|a GBV_ILN_40
912			\|a ISIL_DE-7
912			\|a GBV_ILN_60
912			\|a ISIL_DE-705
912			\|a GBV_ILN_110
912			\|a ISIL_DE-Luen4
912			\|a GBV_ILN_370
912			\|a ISIL_DE-1373
951			\|a BO
980			\|2 20 \|1 01 \|x 0084 \|b 653251459 \|y x \|z 22-06-04
980			\|2 21 \|1 01 \|x 0046 \|b 659676427 \|y z \|z 13-08-04
980			\|2 22 \|1 01 \|x 0018 \|b 653353596 \|h SUBolrd \|y xu \|z 22-06-04
980			\|2 30 \|1 01 \|x 0104 \|b 719840600 \|y z \|z 14-05-05
980			\|2 40 \|1 01 \|x 0007 \|b 653448937 \|h OLR-D \|y xsn \|z 23-06-04
980			\|2 60 \|1 01 \|x 0705 \|b 65354748X \|y z \|z 23-06-04
980			\|2 110 \|1 01 \|x 3110 \|b 719840597 \|y xz \|z 14-05-05
980			\|2 370 \|1 01 \|x 4370 \|b 822431017 \|y x \|z 08-06-07
981			\|2 20 \|1 01 \|x 0084 \|r http://d-nb.info/967968259
981			\|2 21 \|1 01 \|x 0046 \|r http://d-nb.info/967968259
981			\|2 22 \|1 01 \|x 0018 \|r http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259
981			\|2 30 \|1 01 \|x 0104 \|r http://d-nb.info/967968259
981			\|2 40 \|1 01 \|x 0007 \|r http://d-nb.info/967968259
981			\|2 60 \|1 01 \|x 0705 \|r http://d-nb.info/967968259
981			\|2 110 \|1 01 \|x 3110 \|r http://d-nb.info/967968259
981			\|2 370 \|1 01 \|x 4370 \|r http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259
983			\|2 60 \|1 01 \|x 0705 \|8 10 \|a ho
985			\|2 21 \|1 01 \|x 0046 \|a OLRD
985			\|2 30 \|1 01 \|x 0104 \|a OLRD
985			\|2 40 \|1 01 \|x 0007 \|a OLRD
985			\|2 60 \|1 01 \|x 0705 \|a OLRD
985			\|2 110 \|1 01 \|x 3110 \|a OLRD
985			\|2 370 \|1 01 \|x 4370 \|a OLRD
995			\|2 22 \|1 01 \|x 0018 \|a SUBolrd
995			\|2 40 \|1 01 \|x 0007 \|a OLR-D

Indexfelder

matchkey_str	nehrigoliver:2003----:nwrudelseugiebshengnsesrytmafebssoislzuitgiremkoehnkribsneeaf
oclc_num	76539221
hierarchy_sort_str	2003
publishDate	2003
allfields	03,H08,3041 dnb 967968259 DE-101 (DE-627)367204266 (DE-599)DNB967968259 (OCoLC)76539221 DE-627 ger DE-627 rakwb ger XA-DE 36 38 37 sdnb Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen von Oliver Nehrig 2003 Text txt rdacontent Computermedien c rdamedia Online-Ressource cr rdacarrier Essen, Univ., Diss, 2003 Hochschulschrift (DE-588)4113937-9 (DE-627)105825778 (DE-576)209480580 gnd-content s (DE-588)4037349-6 (DE-627)106238035 (DE-576)209023627 Manipulator gnd s (DE-588)4576021-4 (DE-627)325118116 (DE-576)213883376 Schwerlast gnd s (DE-588)4144872-8 (DE-627)105595063 (DE-576)209737239 Beschleunigungssensor gnd s (DE-588)4209035-0 (DE-627)10510762X (DE-576)210189436 Kapazitiver Sensor gnd s (DE-588)4193160-9 (DE-627)105229148 (DE-576)210085495 Siliciumsensor gnd s (DE-588)4205811-9 (DE-627)10470361X (DE-576)210171197 Mikromechanik gnd DE-101 Nehrig, Oliver 1969- (DE-588)124780016 (DE-627)366049461 (DE-576)294498389 oth Essen uvp http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801/unrestricted/nehrigdiss.pdf Verlag Volltext http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801 Verlag Volltext http://d-nb.info/967968259 Verlag Volltext GBV_ILN_20 ISIL_DE-84 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_21 ISIL_DE-46 GBV_ILN_22 ISIL_DE-18 GBV_ILN_30 ISIL_DE-104 GBV_ILN_40 ISIL_DE-7 GBV_ILN_60 ISIL_DE-705 GBV_ILN_110 ISIL_DE-Luen4 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 BO 20 01 0084 653251459 x 22-06-04 21 01 0046 659676427 z 13-08-04 22 01 0018 653353596 SUBolrd xu 22-06-04 30 01 0104 719840600 z 14-05-05 40 01 0007 653448937 OLR-D xsn 23-06-04 60 01 0705 65354748X z 23-06-04 110 01 3110 719840597 xz 14-05-05 370 01 4370 822431017 x 08-06-07 20 01 0084 http://d-nb.info/967968259 21 01 0046 http://d-nb.info/967968259 22 01 0018 http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259 30 01 0104 http://d-nb.info/967968259 40 01 0007 http://d-nb.info/967968259 60 01 0705 http://d-nb.info/967968259 110 01 3110 http://d-nb.info/967968259 370 01 4370 http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259 60 01 0705 10 ho 21 01 0046 OLRD 30 01 0104 OLRD 40 01 0007 OLRD 60 01 0705 OLRD 110 01 3110 OLRD 370 01 4370 OLRD 22 01 0018 SUBolrd 40 01 0007 OLR-D
spelling	03,H08,3041 dnb 967968259 DE-101 (DE-627)367204266 (DE-599)DNB967968259 (OCoLC)76539221 DE-627 ger DE-627 rakwb ger XA-DE 36 38 37 sdnb Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen von Oliver Nehrig 2003 Text txt rdacontent Computermedien c rdamedia Online-Ressource cr rdacarrier Essen, Univ., Diss, 2003 Hochschulschrift (DE-588)4113937-9 (DE-627)105825778 (DE-576)209480580 gnd-content s (DE-588)4037349-6 (DE-627)106238035 (DE-576)209023627 Manipulator gnd s (DE-588)4576021-4 (DE-627)325118116 (DE-576)213883376 Schwerlast gnd s (DE-588)4144872-8 (DE-627)105595063 (DE-576)209737239 Beschleunigungssensor gnd s (DE-588)4209035-0 (DE-627)10510762X (DE-576)210189436 Kapazitiver Sensor gnd s (DE-588)4193160-9 (DE-627)105229148 (DE-576)210085495 Siliciumsensor gnd s (DE-588)4205811-9 (DE-627)10470361X (DE-576)210171197 Mikromechanik gnd DE-101 Nehrig, Oliver 1969- (DE-588)124780016 (DE-627)366049461 (DE-576)294498389 oth Essen uvp http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801/unrestricted/nehrigdiss.pdf Verlag Volltext http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801 Verlag Volltext http://d-nb.info/967968259 Verlag Volltext GBV_ILN_20 ISIL_DE-84 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_21 ISIL_DE-46 GBV_ILN_22 ISIL_DE-18 GBV_ILN_30 ISIL_DE-104 GBV_ILN_40 ISIL_DE-7 GBV_ILN_60 ISIL_DE-705 GBV_ILN_110 ISIL_DE-Luen4 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 BO 20 01 0084 653251459 x 22-06-04 21 01 0046 659676427 z 13-08-04 22 01 0018 653353596 SUBolrd xu 22-06-04 30 01 0104 719840600 z 14-05-05 40 01 0007 653448937 OLR-D xsn 23-06-04 60 01 0705 65354748X z 23-06-04 110 01 3110 719840597 xz 14-05-05 370 01 4370 822431017 x 08-06-07 20 01 0084 http://d-nb.info/967968259 21 01 0046 http://d-nb.info/967968259 22 01 0018 http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259 30 01 0104 http://d-nb.info/967968259 40 01 0007 http://d-nb.info/967968259 60 01 0705 http://d-nb.info/967968259 110 01 3110 http://d-nb.info/967968259 370 01 4370 http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259 60 01 0705 10 ho 21 01 0046 OLRD 30 01 0104 OLRD 40 01 0007 OLRD 60 01 0705 OLRD 110 01 3110 OLRD 370 01 4370 OLRD 22 01 0018 SUBolrd 40 01 0007 OLR-D
allfields_unstemmed	03,H08,3041 dnb 967968259 DE-101 (DE-627)367204266 (DE-599)DNB967968259 (OCoLC)76539221 DE-627 ger DE-627 rakwb ger XA-DE 36 38 37 sdnb Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen von Oliver Nehrig 2003 Text txt rdacontent Computermedien c rdamedia Online-Ressource cr rdacarrier Essen, Univ., Diss, 2003 Hochschulschrift (DE-588)4113937-9 (DE-627)105825778 (DE-576)209480580 gnd-content s (DE-588)4037349-6 (DE-627)106238035 (DE-576)209023627 Manipulator gnd s (DE-588)4576021-4 (DE-627)325118116 (DE-576)213883376 Schwerlast gnd s (DE-588)4144872-8 (DE-627)105595063 (DE-576)209737239 Beschleunigungssensor gnd s (DE-588)4209035-0 (DE-627)10510762X (DE-576)210189436 Kapazitiver Sensor gnd s (DE-588)4193160-9 (DE-627)105229148 (DE-576)210085495 Siliciumsensor gnd s (DE-588)4205811-9 (DE-627)10470361X (DE-576)210171197 Mikromechanik gnd DE-101 Nehrig, Oliver 1969- (DE-588)124780016 (DE-627)366049461 (DE-576)294498389 oth Essen uvp http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801/unrestricted/nehrigdiss.pdf Verlag Volltext http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801 Verlag Volltext http://d-nb.info/967968259 Verlag Volltext GBV_ILN_20 ISIL_DE-84 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_21 ISIL_DE-46 GBV_ILN_22 ISIL_DE-18 GBV_ILN_30 ISIL_DE-104 GBV_ILN_40 ISIL_DE-7 GBV_ILN_60 ISIL_DE-705 GBV_ILN_110 ISIL_DE-Luen4 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 BO 20 01 0084 653251459 x 22-06-04 21 01 0046 659676427 z 13-08-04 22 01 0018 653353596 SUBolrd xu 22-06-04 30 01 0104 719840600 z 14-05-05 40 01 0007 653448937 OLR-D xsn 23-06-04 60 01 0705 65354748X z 23-06-04 110 01 3110 719840597 xz 14-05-05 370 01 4370 822431017 x 08-06-07 20 01 0084 http://d-nb.info/967968259 21 01 0046 http://d-nb.info/967968259 22 01 0018 http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259 30 01 0104 http://d-nb.info/967968259 40 01 0007 http://d-nb.info/967968259 60 01 0705 http://d-nb.info/967968259 110 01 3110 http://d-nb.info/967968259 370 01 4370 http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259 60 01 0705 10 ho 21 01 0046 OLRD 30 01 0104 OLRD 40 01 0007 OLRD 60 01 0705 OLRD 110 01 3110 OLRD 370 01 4370 OLRD 22 01 0018 SUBolrd 40 01 0007 OLR-D
allfieldsGer	03,H08,3041 dnb 967968259 DE-101 (DE-627)367204266 (DE-599)DNB967968259 (OCoLC)76539221 DE-627 ger DE-627 rakwb ger XA-DE 36 38 37 sdnb Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen von Oliver Nehrig 2003 Text txt rdacontent Computermedien c rdamedia Online-Ressource cr rdacarrier Essen, Univ., Diss, 2003 Hochschulschrift (DE-588)4113937-9 (DE-627)105825778 (DE-576)209480580 gnd-content s (DE-588)4037349-6 (DE-627)106238035 (DE-576)209023627 Manipulator gnd s (DE-588)4576021-4 (DE-627)325118116 (DE-576)213883376 Schwerlast gnd s (DE-588)4144872-8 (DE-627)105595063 (DE-576)209737239 Beschleunigungssensor gnd s (DE-588)4209035-0 (DE-627)10510762X (DE-576)210189436 Kapazitiver Sensor gnd s (DE-588)4193160-9 (DE-627)105229148 (DE-576)210085495 Siliciumsensor gnd s (DE-588)4205811-9 (DE-627)10470361X (DE-576)210171197 Mikromechanik gnd DE-101 Nehrig, Oliver 1969- (DE-588)124780016 (DE-627)366049461 (DE-576)294498389 oth Essen uvp http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801/unrestricted/nehrigdiss.pdf Verlag Volltext http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801 Verlag Volltext http://d-nb.info/967968259 Verlag Volltext GBV_ILN_20 ISIL_DE-84 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_21 ISIL_DE-46 GBV_ILN_22 ISIL_DE-18 GBV_ILN_30 ISIL_DE-104 GBV_ILN_40 ISIL_DE-7 GBV_ILN_60 ISIL_DE-705 GBV_ILN_110 ISIL_DE-Luen4 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 BO 20 01 0084 653251459 x 22-06-04 21 01 0046 659676427 z 13-08-04 22 01 0018 653353596 SUBolrd xu 22-06-04 30 01 0104 719840600 z 14-05-05 40 01 0007 653448937 OLR-D xsn 23-06-04 60 01 0705 65354748X z 23-06-04 110 01 3110 719840597 xz 14-05-05 370 01 4370 822431017 x 08-06-07 20 01 0084 http://d-nb.info/967968259 21 01 0046 http://d-nb.info/967968259 22 01 0018 http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259 30 01 0104 http://d-nb.info/967968259 40 01 0007 http://d-nb.info/967968259 60 01 0705 http://d-nb.info/967968259 110 01 3110 http://d-nb.info/967968259 370 01 4370 http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259 60 01 0705 10 ho 21 01 0046 OLRD 30 01 0104 OLRD 40 01 0007 OLRD 60 01 0705 OLRD 110 01 3110 OLRD 370 01 4370 OLRD 22 01 0018 SUBolrd 40 01 0007 OLR-D
allfieldsSound	03,H08,3041 dnb 967968259 DE-101 (DE-627)367204266 (DE-599)DNB967968259 (OCoLC)76539221 DE-627 ger DE-627 rakwb ger XA-DE 36 38 37 sdnb Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen von Oliver Nehrig 2003 Text txt rdacontent Computermedien c rdamedia Online-Ressource cr rdacarrier Essen, Univ., Diss, 2003 Hochschulschrift (DE-588)4113937-9 (DE-627)105825778 (DE-576)209480580 gnd-content s (DE-588)4037349-6 (DE-627)106238035 (DE-576)209023627 Manipulator gnd s (DE-588)4576021-4 (DE-627)325118116 (DE-576)213883376 Schwerlast gnd s (DE-588)4144872-8 (DE-627)105595063 (DE-576)209737239 Beschleunigungssensor gnd s (DE-588)4209035-0 (DE-627)10510762X (DE-576)210189436 Kapazitiver Sensor gnd s (DE-588)4193160-9 (DE-627)105229148 (DE-576)210085495 Siliciumsensor gnd s (DE-588)4205811-9 (DE-627)10470361X (DE-576)210171197 Mikromechanik gnd DE-101 Nehrig, Oliver 1969- (DE-588)124780016 (DE-627)366049461 (DE-576)294498389 oth Essen uvp http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801/unrestricted/nehrigdiss.pdf Verlag Volltext http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801 Verlag Volltext http://d-nb.info/967968259 Verlag Volltext GBV_ILN_20 ISIL_DE-84 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_21 ISIL_DE-46 GBV_ILN_22 ISIL_DE-18 GBV_ILN_30 ISIL_DE-104 GBV_ILN_40 ISIL_DE-7 GBV_ILN_60 ISIL_DE-705 GBV_ILN_110 ISIL_DE-Luen4 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 BO 20 01 0084 653251459 x 22-06-04 21 01 0046 659676427 z 13-08-04 22 01 0018 653353596 SUBolrd xu 22-06-04 30 01 0104 719840600 z 14-05-05 40 01 0007 653448937 OLR-D xsn 23-06-04 60 01 0705 65354748X z 23-06-04 110 01 3110 719840597 xz 14-05-05 370 01 4370 822431017 x 08-06-07 20 01 0084 http://d-nb.info/967968259 21 01 0046 http://d-nb.info/967968259 22 01 0018 http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259 30 01 0104 http://d-nb.info/967968259 40 01 0007 http://d-nb.info/967968259 60 01 0705 http://d-nb.info/967968259 110 01 3110 http://d-nb.info/967968259 370 01 4370 http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259 60 01 0705 10 ho 21 01 0046 OLRD 30 01 0104 OLRD 40 01 0007 OLRD 60 01 0705 OLRD 110 01 3110 OLRD 370 01 4370 OLRD 22 01 0018 SUBolrd 40 01 0007 OLR-D
language	German
format_phy_str_mv	Book
building	20 21 22:u 30 40:s 60 110:z 370
institution	findex.gbv.de
selectbib_iln_str_mv	20@ 21@ 22@u 30@ 40@sn 60@ 110@z 370@
topic_facet	Manipulator Schwerlast Beschleunigungssensor Kapazitiver Sensor Siliciumsensor Mikromechanik
hochschulschrift_txt_mv	Essen, Univ., Diss, 2003
isfreeaccess_bool	false
authorswithroles_txt_mv	Nehrig, Oliver @@oth@@
publishDateDaySort_date	2003-01-01T00:00:00Z
id	367204266
genre_facet	Hochschulschrift
language_de	deutsch
fullrecord	<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01000cam a22002652 4500</leader><controlfield tag="001">367204266</controlfield><controlfield tag="003">DE-627</controlfield><controlfield tag="005">20240130015818.0</controlfield><controlfield tag="007">cr uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">030731s2003 gw \|\|\|\|\|om 00\| \|\|ger c</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">03,H08,3041</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">967968259</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-627)367204266</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB967968259</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76539221</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-627</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="c">DE-627</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="c">XA-DE</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">36</subfield><subfield code="a">38</subfield><subfield code="a">37</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen</subfield><subfield code="c">von Oliver Nehrig</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2003</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Text</subfield><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Computermedien</subfield><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Online-Ressource</subfield><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Essen, Univ., Diss, 2003</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="0">(DE-627)105825778</subfield><subfield code="0">(DE-576)209480580</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="D">s</subfield><subfield code="0">(DE-588)4037349-6</subfield><subfield code="0">(DE-627)106238035</subfield><subfield code="0">(DE-576)209023627</subfield><subfield code="a">Manipulator</subfield><subfield code="2">gnd</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="D">s</subfield><subfield code="0">(DE-588)4576021-4</subfield><subfield code="0">(DE-627)325118116</subfield><subfield code="0">(DE-576)213883376</subfield><subfield code="a">Schwerlast</subfield><subfield code="2">gnd</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="D">s</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144872-8</subfield><subfield code="0">(DE-627)105595063</subfield><subfield code="0">(DE-576)209737239</subfield><subfield code="a">Beschleunigungssensor</subfield><subfield code="2">gnd</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="D">s</subfield><subfield code="0">(DE-588)4209035-0</subfield><subfield code="0">(DE-627)10510762X</subfield><subfield code="0">(DE-576)210189436</subfield><subfield code="a">Kapazitiver Sensor</subfield><subfield code="2">gnd</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="D">s</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193160-9</subfield><subfield code="0">(DE-627)105229148</subfield><subfield code="0">(DE-576)210085495</subfield><subfield code="a">Siliciumsensor</subfield><subfield code="2">gnd</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="D">s</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="0">(DE-627)10470361X</subfield><subfield code="0">(DE-576)210171197</subfield><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="2">gnd</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Nehrig, Oliver</subfield><subfield code="d">1969-</subfield><subfield code="0">(DE-588)124780016</subfield><subfield code="0">(DE-627)366049461</subfield><subfield code="0">(DE-576)294498389</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="751" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Essen</subfield><subfield code="4">uvp</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801/unrestricted/nehrigdiss.pdf</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">http://d-nb.info/967968259</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_20</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-84</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">SYSFLAG_1</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_KXP</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_21</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-46</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_22</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-18</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_30</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-104</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_40</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-7</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_60</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-705</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_110</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-Luen4</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_370</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-1373</subfield></datafield><datafield tag="951" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">BO</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">20</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0084</subfield><subfield code="b">653251459</subfield><subfield code="y">x</subfield><subfield code="z">22-06-04</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">21</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0046</subfield><subfield code="b">659676427</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">13-08-04</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">22</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0018</subfield><subfield code="b">653353596</subfield><subfield code="h">SUBolrd</subfield><subfield code="y">xu</subfield><subfield code="z">22-06-04</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">30</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0104</subfield><subfield code="b">719840600</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">14-05-05</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">40</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0007</subfield><subfield code="b">653448937</subfield><subfield code="h">OLR-D</subfield><subfield code="y">xsn</subfield><subfield code="z">23-06-04</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">60</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0705</subfield><subfield code="b">65354748X</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">23-06-04</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">110</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3110</subfield><subfield code="b">719840597</subfield><subfield code="y">xz</subfield><subfield code="z">14-05-05</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">370</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">4370</subfield><subfield code="b">822431017</subfield><subfield code="y">x</subfield><subfield code="z">08-06-07</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">20</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0084</subfield><subfield code="r">http://d-nb.info/967968259</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">21</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0046</subfield><subfield code="r">http://d-nb.info/967968259</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">22</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0018</subfield><subfield code="r">http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">30</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0104</subfield><subfield code="r">http://d-nb.info/967968259</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">40</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0007</subfield><subfield code="r">http://d-nb.info/967968259</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">60</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0705</subfield><subfield code="r">http://d-nb.info/967968259</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">110</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3110</subfield><subfield code="r">http://d-nb.info/967968259</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">370</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">4370</subfield><subfield code="r">http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259</subfield></datafield><datafield tag="983" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">60</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0705</subfield><subfield code="8">10</subfield><subfield code="a">ho</subfield></datafield><datafield tag="985" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">21</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0046</subfield><subfield code="a">OLRD</subfield></datafield><datafield tag="985" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">30</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0104</subfield><subfield code="a">OLRD</subfield></datafield><datafield tag="985" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">40</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0007</subfield><subfield code="a">OLRD</subfield></datafield><datafield tag="985" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">60</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0705</subfield><subfield code="a">OLRD</subfield></datafield><datafield tag="985" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">110</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3110</subfield><subfield code="a">OLRD</subfield></datafield><datafield tag="985" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">370</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">4370</subfield><subfield code="a">OLRD</subfield></datafield><datafield tag="995" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">22</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0018</subfield><subfield code="a">SUBolrd</subfield></datafield><datafield tag="995" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">40</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0007</subfield><subfield code="a">OLR-D</subfield></datafield></record></collection>
format	eBook
delete_txt_mv	keep
typewithnormlink_str_mv	SubjectHeadingSensoStricto@(DE-588)4113937-9 SubjectHeading@(DE-588)4113937-9 SubjectHeading@(DE-588)4037349-6 SubjectHeadingSensoStricto@(DE-588)4037349-6 SubjectHeadingSensoStricto@(DE-588)4576021-4 SubjectHeading@(DE-588)4576021-4 SubjectHeading@(DE-588)4144872-8 SubjectHeadingSensoStricto@(DE-588)4144872-8 SubjectHeadingSensoStricto@(DE-588)4209035-0 SubjectHeading@(DE-588)4209035-0 SubjectHeading@(DE-588)4193160-9 SubjectHeadingSensoStricto@(DE-588)4193160-9 SubjectHeading@(DE-588)4205811-9 SubjectHeadingSensoStricto@(DE-588)4205811-9 Person@(DE-588)124780016 DifferentiatedPerson@(DE-588)124780016
collection	KXP GVK
remote_str	true
abrufzeichen_iln_str_mv	22@SUBolrd 40@OLR-D
abrufzeichen_iln_scis_mv	22@SUBolrd 40@OLR-D
last_changed_iln_str_mv	20@22-06-04 21@13-08-04 22@22-06-04 30@14-05-05 40@23-06-04 60@23-06-04 110@14-05-05 370@08-06-07
illustrated	Not Illustrated
notation_local_iln_str_mv	60:ho 0705:ho
topic_title	36 38 37 sdnb Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen von Oliver Nehrig s (DE-588)4037349-6 (DE-627)106238035 (DE-576)209023627 Manipulator gnd s (DE-588)4576021-4 (DE-627)325118116 (DE-576)213883376 Schwerlast gnd s (DE-588)4144872-8 (DE-627)105595063 (DE-576)209737239 Beschleunigungssensor gnd s (DE-588)4209035-0 (DE-627)10510762X (DE-576)210189436 Kapazitiver Sensor gnd s (DE-588)4193160-9 (DE-627)105229148 (DE-576)210085495 Siliciumsensor gnd s (DE-588)4205811-9 (DE-627)10470361X (DE-576)210171197 Mikromechanik gnd DE-101
topic	sdnb 36 gnd Manipulator gnd Schwerlast gnd Beschleunigungssensor gnd Kapazitiver Sensor gnd Siliciumsensor gnd Mikromechanik
spellingShingle	sdnb 36 gnd Manipulator gnd Schwerlast gnd Beschleunigungssensor gnd Kapazitiver Sensor gnd Siliciumsensor gnd Mikromechanik Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen
topic_unstemmed	sdnb 36 gnd Manipulator gnd Schwerlast gnd Beschleunigungssensor gnd Kapazitiver Sensor gnd Siliciumsensor gnd Mikromechanik
topic_browse	sdnb 36 gnd Manipulator gnd Schwerlast gnd Beschleunigungssensor gnd Kapazitiver Sensor gnd Siliciumsensor gnd Mikromechanik
format_facet	Elektronische Bücher Bücher Elektronische Ressource Hochschulschriften
format_main_str_mv	Text Buch
format_details_str_mv	Hochschulschrift
carriertype_str_mv	cr
author2_variant	o n on
normlinkwithtype_str_mv	(DE-588)4113937-9@SubjectHeadingSensoStricto (DE-588)4113937-9@SubjectHeading (DE-588)4037349-6@SubjectHeading (DE-588)4037349-6@SubjectHeadingSensoStricto (DE-588)4576021-4@SubjectHeadingSensoStricto (DE-588)4576021-4@SubjectHeading (DE-588)4144872-8@SubjectHeading (DE-588)4144872-8@SubjectHeadingSensoStricto (DE-588)4209035-0@SubjectHeadingSensoStricto (DE-588)4209035-0@SubjectHeading (DE-588)4193160-9@SubjectHeading (DE-588)4193160-9@SubjectHeadingSensoStricto (DE-588)4205811-9@SubjectHeading (DE-588)4205811-9@SubjectHeadingSensoStricto (DE-588)124780016@Person (DE-588)124780016@DifferentiatedPerson
isfreeaccess_txt	false
normlinkwithrole_str_mv	(DE-588)4113937-9@@655@@ (DE-588)4037349-6@@689@@ (DE-588)4576021-4@@689@@ (DE-588)4144872-8@@689@@ (DE-588)4209035-0@@689@@ (DE-588)4193160-9@@689@@ (DE-588)4205811-9@@689@@ (DE-588)124780016@@oth@@
title	Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen
ctrlnum	(DE-627)367204266 (DE-599)DNB967968259 (OCoLC)76539221
title_full	Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen von Oliver Nehrig
lang_code	ger
class_local	60 01 0705 10 ho
isOA_bool	false
recordtype	marc
genre	Hochschulschrift (DE-588)4113937-9 (DE-627)105825778 (DE-576)209480580 gnd-content
publishDateSort	2003
contenttype_str_mv	txt
class_local_iln	60:ho 0705:ho
selectkey	20:x 21:z 22:x 30:z 40:x 60:z 110:x 370:x
class	36 38 37 sdnb 60 01 0705 10 ho
foreign_ids_str_mv	(DE-101)967968259
format_se	Elektronische Bücher
countryofpublication_str_mv	XA-DE
classname_local_iln_str_mv	60: 0705:
normlink	4113937-9 105825778 209480580 4037349-6 106238035 209023627 4576021-4 325118116 213883376 4144872-8 105595063 209737239 4209035-0 10510762X 210189436 4193160-9 105229148 210085495 4205811-9 10470361X 210171197 124780016 366049461 294498389
normlink_prefix_str_mv	(DE-588)4113937-9 (DE-627)105825778 (DE-576)209480580 (DE-588)4037349-6 (DE-627)106238035 (DE-576)209023627 (DE-588)4576021-4 (DE-627)325118116 (DE-576)213883376 (DE-588)4144872-8 (DE-627)105595063 (DE-576)209737239 (DE-588)4209035-0 (DE-627)10510762X (DE-576)210189436 (DE-588)4193160-9 (DE-627)105229148 (DE-576)210085495 (DE-588)4205811-9 (DE-627)10470361X (DE-576)210171197 (DE-588)124780016 (DE-627)366049461 (DE-576)294498389
title_sort	entwurf und realisierung eines beschleunigungssensorsystems auf der basis von in silizium integrierter mikromechanik für die besonderen anforderungen bei schwerlasthandhabungssystemen
title_auth	Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen
collection_details	GBV_ILN_20 ISIL_DE-84 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_21 ISIL_DE-46 GBV_ILN_22 ISIL_DE-18 GBV_ILN_30 ISIL_DE-104 GBV_ILN_40 ISIL_DE-7 GBV_ILN_60 ISIL_DE-705 GBV_ILN_110 ISIL_DE-Luen4 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373
title_short	Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen
url	http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801/unrestricted/nehrigdiss.pdf http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801 http://d-nb.info/967968259
ausleihindikator_str_mv	20 21 22 30 40 60 110 370
rolewithnormlink_str_mv	@@655@@(DE-588)4113937-9 @@689@@(DE-588)4037349-6 @@689@@(DE-588)4576021-4 @@689@@(DE-588)4144872-8 @@689@@(DE-588)4209035-0 @@689@@(DE-588)4193160-9 @@689@@(DE-588)4205811-9 @@oth@@(DE-588)124780016
remote_bool	true
author2	Nehrig, Oliver 1969-
author2Str	Nehrig, Oliver 1969-
GND_str_mv	Hochschulschrift Fernbedienwerkzeug Manipulator Schwere Last Schwerlast Trägheitssensor Beschleunigungsaufnehmer Beschleunigungssensor Kapazitiver Sensor Siliciumsensor Mikrostrukturierung <Mikromechanik> Mikromechanik Nehrig, Oliver
GND_txt_mv	Hochschulschrift Fernbedienwerkzeug Manipulator Schwere Last Schwerlast Trägheitssensor Beschleunigungsaufnehmer Beschleunigungssensor Kapazitiver Sensor Siliciumsensor Mikrostrukturierung <Mikromechanik> Mikromechanik Nehrig, Oliver
GND_txtF_mv	Hochschulschrift Fernbedienwerkzeug Manipulator Schwere Last Schwerlast Trägheitssensor Beschleunigungsaufnehmer Beschleunigungssensor Kapazitiver Sensor Siliciumsensor Mikrostrukturierung <Mikromechanik> Mikromechanik Nehrig, Oliver
mediatype_str_mv	c
isOA_txt	false
hochschulschrift_bool	true
author2_role	oth
up_date	2024-07-05T02:07:10.626Z
_version_	1803703005352034304
fullrecord_marcxml	<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01000cam a22002652 4500</leader><controlfield tag="001">367204266</controlfield><controlfield tag="003">DE-627</controlfield><controlfield tag="005">20240130015818.0</controlfield><controlfield tag="007">cr uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">030731s2003 gw \|\|\|\|\|om 00\| \|\|ger c</controlfield><datafield tag="015" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">03,H08,3041</subfield><subfield code="2">dnb</subfield></datafield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">967968259</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-627)367204266</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)DNB967968259</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)76539221</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-627</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="c">DE-627</subfield><subfield code="e">rakwb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="c">XA-DE</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">36</subfield><subfield code="a">38</subfield><subfield code="a">37</subfield><subfield code="2">sdnb</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Entwurf und Realisierung eines Beschleunigungssensorsystems auf der Basis von in Silizium integrierter Mikromechanik für die besonderen Anforderungen bei Schwerlasthandhabungssystemen</subfield><subfield code="c">von Oliver Nehrig</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">2003</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Text</subfield><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Computermedien</subfield><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Online-Ressource</subfield><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Essen, Univ., Diss, 2003</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="0">(DE-627)105825778</subfield><subfield code="0">(DE-576)209480580</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="D">s</subfield><subfield code="0">(DE-588)4037349-6</subfield><subfield code="0">(DE-627)106238035</subfield><subfield code="0">(DE-576)209023627</subfield><subfield code="a">Manipulator</subfield><subfield code="2">gnd</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="D">s</subfield><subfield code="0">(DE-588)4576021-4</subfield><subfield code="0">(DE-627)325118116</subfield><subfield code="0">(DE-576)213883376</subfield><subfield code="a">Schwerlast</subfield><subfield code="2">gnd</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="D">s</subfield><subfield code="0">(DE-588)4144872-8</subfield><subfield code="0">(DE-627)105595063</subfield><subfield code="0">(DE-576)209737239</subfield><subfield code="a">Beschleunigungssensor</subfield><subfield code="2">gnd</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="D">s</subfield><subfield code="0">(DE-588)4209035-0</subfield><subfield code="0">(DE-627)10510762X</subfield><subfield code="0">(DE-576)210189436</subfield><subfield code="a">Kapazitiver Sensor</subfield><subfield code="2">gnd</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="D">s</subfield><subfield code="0">(DE-588)4193160-9</subfield><subfield code="0">(DE-627)105229148</subfield><subfield code="0">(DE-576)210085495</subfield><subfield code="a">Siliciumsensor</subfield><subfield code="2">gnd</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="D">s</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="0">(DE-627)10470361X</subfield><subfield code="0">(DE-576)210171197</subfield><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="2">gnd</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Nehrig, Oliver</subfield><subfield code="d">1969-</subfield><subfield code="0">(DE-588)124780016</subfield><subfield code="0">(DE-627)366049461</subfield><subfield code="0">(DE-576)294498389</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="751" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Essen</subfield><subfield code="4">uvp</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801/unrestricted/nehrigdiss.pdf</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">http://www.ub.uni-duisburg.de/ETD-db/theses/available/duett-04292003-155801</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">http://d-nb.info/967968259</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_20</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-84</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">SYSFLAG_1</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_KXP</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_21</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-46</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_22</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-18</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_30</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-104</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_40</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-7</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_60</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-705</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_110</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-Luen4</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_370</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-1373</subfield></datafield><datafield tag="951" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">BO</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">20</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0084</subfield><subfield code="b">653251459</subfield><subfield code="y">x</subfield><subfield code="z">22-06-04</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">21</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0046</subfield><subfield code="b">659676427</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">13-08-04</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">22</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0018</subfield><subfield code="b">653353596</subfield><subfield code="h">SUBolrd</subfield><subfield code="y">xu</subfield><subfield code="z">22-06-04</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">30</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0104</subfield><subfield code="b">719840600</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">14-05-05</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">40</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0007</subfield><subfield code="b">653448937</subfield><subfield code="h">OLR-D</subfield><subfield code="y">xsn</subfield><subfield code="z">23-06-04</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">60</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0705</subfield><subfield code="b">65354748X</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">23-06-04</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">110</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3110</subfield><subfield code="b">719840597</subfield><subfield code="y">xz</subfield><subfield code="z">14-05-05</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">370</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">4370</subfield><subfield code="b">822431017</subfield><subfield code="y">x</subfield><subfield code="z">08-06-07</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">20</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0084</subfield><subfield code="r">http://d-nb.info/967968259</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">21</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0046</subfield><subfield code="r">http://d-nb.info/967968259</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">22</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0018</subfield><subfield code="r">http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">30</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0104</subfield><subfield code="r">http://d-nb.info/967968259</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">40</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0007</subfield><subfield code="r">http://d-nb.info/967968259</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">60</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0705</subfield><subfield code="r">http://d-nb.info/967968259</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">110</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3110</subfield><subfield code="r">http://d-nb.info/967968259</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">370</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">4370</subfield><subfield code="r">http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967968259</subfield></datafield><datafield tag="983" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">60</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0705</subfield><subfield code="8">10</subfield><subfield code="a">ho</subfield></datafield><datafield tag="985" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">21</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0046</subfield><subfield code="a">OLRD</subfield></datafield><datafield tag="985" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">30</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0104</subfield><subfield code="a">OLRD</subfield></datafield><datafield tag="985" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">40</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0007</subfield><subfield code="a">OLRD</subfield></datafield><datafield tag="985" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">60</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0705</subfield><subfield code="a">OLRD</subfield></datafield><datafield tag="985" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">110</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3110</subfield><subfield code="a">OLRD</subfield></datafield><datafield tag="985" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">370</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">4370</subfield><subfield code="a">OLRD</subfield></datafield><datafield tag="995" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">22</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0018</subfield><subfield code="a">SUBolrd</subfield></datafield><datafield tag="995" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">40</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0007</subfield><subfield code="a">OLR-D</subfield></datafield></record></collection>
score	7.400508

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