Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications

Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications, Second Edition, focuses on the industrial perspective on micro- and nanofabrication methods, including large-scale manufacturing, the transfer of concepts from lab to factory, process tolerance, yield, robustness, and cost. The b...
Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Autor*in:	Luttge, Regina [verfasserIn]

Format:	E-Book
Sprache:	Englisch

Erschienen:	Oxford, UK: William Andrew is an imprint of Elsevier ; 2016
Ausgabe:	Second edition

Schlagwörter:	Microfabrication TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General) TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference
Formangabe:	Electronic books

Anmerkung:	Includes index
Umfang:	1 Online-Ressource

Reproduktion:	Online-Ausg.

Reihe:	Micro and nano technologies

Links:	Link aufrufen Volltext Link aufrufen Inhaltsverzeichnis
ISBN:	978-0-323-38928-0 0-323-38928-7

Katalog-ID:	879397179

Internformat


LEADER	01000cam a22002652 4500
001	879397179
003	DE-627
005	20240503140444.0
007	cr uuu---uuuuu
008	170209s2016 xxk\|\|\|\|\|o 00\| \|\|eng c
020			\|a 9780323389280 \|9 978-0-323-38928-0
020			\|a 0323389287 \|9 0-323-38928-7
035			\|a (DE-627)879397179
035			\|a (DE-576)9879397177
035			\|a (DE-599)GBV879397179
035			\|a (OCoLC)952561926
035			\|a (ELSEVIER)ocn952561926
035			\|a (EBP)003087379
040			\|a DE-627 \|b eng \|c DE-627 \|e rda
041			\|a eng
044			\|c XA-GB
050		0	\|a TJ1191.5
072		7	\|a TEC 009000 \|2 bisacsh
072		7	\|a TEC 035000 \|2 bisacsh
100	1		\|a Luttge, Regina \|e verfasserin \|4 aut
245	1	0	\|a Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications \|c Regina Luttge
250			\|a Second edition
264		1	\|a Oxford, UK \|b William Andrew is an imprint of Elsevier \|c 2016
300			\|a 1 Online-Ressource
336			\|a Text \|b txt \|2 rdacontent
337			\|a Computermedien \|b c \|2 rdamedia
338			\|a Online-Ressource \|b cr \|2 rdacarrier
490	0		\|a Micro and nano technologies
500			\|a Includes index
520			\|a Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications, Second Edition, focuses on the industrial perspective on micro- and nanofabrication methods, including large-scale manufacturing, the transfer of concepts from lab to factory, process tolerance, yield, robustness, and cost. The book gives a history of miniaturization and micro- and nanofabrication, and surveys industrial fields of application, illustrating fabrication processes of relevant micro and nano devices. In this second edition, a new focus area is nanoengineering as an important driver for the rise of novel applications by integrating bio-nanofabrication into microsystems. In addition, new material covers lithographic mould fabrication for soft-lithography, nanolithography techniques, corner lithography, advances in nanosensing, and the developing field of advanced functional materials. Luttge also explores the view that micro- and nanofabrication will be the key driver for a "tech-revolution" in biology and medical research that includes a new case study that covers the developing organ-on-chip concept
533			\|a Online-Ausg.
650		0	\|a Microfabrication
650		0	\|a Microfabrication
650		4	\|a TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General)
650		4	\|a TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference
650		4	\|a Microfabrication
650		4	\|a Microfabrication \|0 (OCoLC)fst01019807
655		0	\|a Electronic books
776	1		\|z 9780323378284
776	0	8	\|i Erscheint auch als \|n Druck-Ausgabe \|a Luttge, Regina \|t Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications \|d Saint Louis : Elsevier Science, ©2016 \|z 9780323378284
856	4	0	\|u http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 \|m X:ELSEVIER \|x Verlag \|3 Volltext
856	4	0	\|u https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 \|m X:ELSEVIER \|x Verlag \|z lizenzpflichtig
856	4	2	\|u http://www.gbv.de/dms/bowker/toc/9780323378284.pdf \|m V:DE-601 \|m X:Bowker \|q pdf/application \|v 2017-02-24 \|x Verlag \|y Inhaltsverzeichnis \|3 Inhaltsverzeichnis
912			\|a BSZ-33-EBS-HSAA
912			\|a GBV-33-EBS-MRI
912			\|a GBV-33-EBS-ZHB
912			\|a GBV-33-Freedom-BL
912			\|a ZDB-33-EBS
912			\|a ZDB-33-EGE \|b 2016
912			\|a ZDB-33-ESD
912			\|a GBV-33-EBS-HST
912			\|a BSZ-33-EBS-C1UB
912			\|a GBV_ILN_105
912			\|a ISIL_DE-841
912			\|a SYSFLAG_1
912			\|a GBV_KXP
912			\|a GBV_ILN_132
912			\|a ISIL_DE-959
912			\|a GBV_ILN_185
912			\|a ISIL_DE-Sra5
912			\|a GBV_ILN_370
912			\|a ISIL_DE-1373
912			\|a GBV_ILN_2020
912			\|a ISIL_DE-Ch1
912			\|a GBV_ILN_2111
912			\|a ISIL_DE-944
951			\|a BO
953			\|2 045F \|a 670
980			\|2 105 \|1 01 \|x 0841 \|b 1787623823 \|c 05 \|f --%%-- \|d KaufEBook202103 \|e --%%-- \|j --%%-- \|h OLR-ELV-TEST \|k Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. \|k Testzugang ZHB Lübeck \|y z \|z 26-07-18
980			\|2 132 \|1 01 \|x 0959 \|b 4499992109 \|h EBS Elsevier \|k Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. \|k Zeitlich begrenzte Lizenzierung \|y k \|z 13-03-24
980			\|2 185 \|1 01 \|x 3519 \|b 4514712671 \|h OLR-EBS \|k Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. \|y z \|z 23-04-24
980			\|2 370 \|1 01 \|x 4370 \|b 4540274791 \|h EBS Elsevier \|k Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. \|u i \|y z \|z 20-06-24
980			\|2 2020 \|1 01 \|x DE-Ch1 \|b 4520360404 \|c 00 \|f --%%-- \|d --%%-- \|e n \|j n \|k Campuslizenz \|y l01 \|z 03-05-24
980			\|2 2111 \|1 02 \|x DE-944 \|b 404605431X \|c 00 \|f --%%-- \|d E-Book Elsevier \|e --%%-- \|j n \|k Elektronischer Volltext - Campuslizenz \|y l01 \|z 27-01-22
981			\|2 105 \|1 01 \|x 0841 \|r http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284
981			\|2 132 \|1 01 \|x 0959 \|y Zugriff nur für Angehörige der Hochschule Osnabrück im Hochschulnetz \|r https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284
981			\|2 185 \|1 01 \|x 3519 \|r http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284
981			\|2 370 \|1 01 \|x 4370 \|y E-Book: Zugriff im HCU-Netz. Zugriff von außerhalb nur für HCU-Angehörige möglich \|r https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284
981			\|2 2020 \|1 01 \|x DE-Ch1 \|r https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284
981			\|2 2111 \|1 02 \|x DE-944 \|r https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284
982			\|2 132 \|1 01 \|x 0959 \|8 00 \|a EBooks Elsevier Engineering
995			\|2 105 \|1 01 \|x 0841 \|a OLR-ELV-TEST
995			\|2 132 \|1 01 \|x 0959 \|a EBS Elsevier
995			\|2 185 \|1 01 \|x 3519 \|a OLR-EBS
995			\|2 370 \|1 01 \|x 4370 \|a EBS Elsevier

Indexfelder

author_variant	r l rl
matchkey_str	book:9780323389280:2016----
oclc_num	952561926 (ELSEVIER)952561926
hierarchy_sort_str	2016
callnumber-subject-code	TJ
publishDate	2016
allfields	9780323389280 978-0-323-38928-0 0323389287 0-323-38928-7 (DE-627)879397179 (DE-576)9879397177 (DE-599)GBV879397179 (OCoLC)952561926 (ELSEVIER)ocn952561926 (EBP)003087379 DE-627 eng DE-627 rda eng XA-GB TJ1191.5 TEC 009000 bisacsh TEC 035000 bisacsh Luttge, Regina verfasserin aut Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications Regina Luttge Second edition Oxford, UK William Andrew is an imprint of Elsevier 2016 1 Online-Ressource Text txt rdacontent Computermedien c rdamedia Online-Ressource cr rdacarrier Micro and nano technologies Includes index Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications, Second Edition, focuses on the industrial perspective on micro- and nanofabrication methods, including large-scale manufacturing, the transfer of concepts from lab to factory, process tolerance, yield, robustness, and cost. The book gives a history of miniaturization and micro- and nanofabrication, and surveys industrial fields of application, illustrating fabrication processes of relevant micro and nano devices. In this second edition, a new focus area is nanoengineering as an important driver for the rise of novel applications by integrating bio-nanofabrication into microsystems. In addition, new material covers lithographic mould fabrication for soft-lithography, nanolithography techniques, corner lithography, advances in nanosensing, and the developing field of advanced functional materials. Luttge also explores the view that micro- and nanofabrication will be the key driver for a "tech-revolution" in biology and medical research that includes a new case study that covers the developing organ-on-chip concept Online-Ausg. Microfabrication Microfabrication TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General) TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference Microfabrication Microfabrication (OCoLC)fst01019807 Electronic books 9780323378284 Erscheint auch als Druck-Ausgabe Luttge, Regina Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications Saint Louis : Elsevier Science, ©2016 9780323378284 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 X:ELSEVIER Verlag Volltext https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 X:ELSEVIER Verlag lizenzpflichtig http://www.gbv.de/dms/bowker/toc/9780323378284.pdf V:DE-601 X:Bowker pdf/application 2017-02-24 Verlag Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis BSZ-33-EBS-HSAA GBV-33-EBS-MRI GBV-33-EBS-ZHB GBV-33-Freedom-BL ZDB-33-EBS ZDB-33-EGE 2016 ZDB-33-ESD GBV-33-EBS-HST BSZ-33-EBS-C1UB GBV_ILN_105 ISIL_DE-841 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_132 ISIL_DE-959 GBV_ILN_185 ISIL_DE-Sra5 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 GBV_ILN_2020 ISIL_DE-Ch1 GBV_ILN_2111 ISIL_DE-944 BO 045F 670 105 01 0841 1787623823 05 --%%-- KaufEBook202103 --%%-- --%%-- OLR-ELV-TEST Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. Testzugang ZHB Lübeck z 26-07-18 132 01 0959 4499992109 EBS Elsevier Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. Zeitlich begrenzte Lizenzierung k 13-03-24 185 01 3519 4514712671 OLR-EBS Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. z 23-04-24 370 01 4370 4540274791 EBS Elsevier Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. i z 20-06-24 2020 01 DE-Ch1 4520360404 00 --%%-- --%%-- n n Campuslizenz l01 03-05-24 2111 02 DE-944 404605431X 00 --%%-- E-Book Elsevier --%%-- n Elektronischer Volltext - Campuslizenz l01 27-01-22 105 01 0841 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 132 01 0959 Zugriff nur für Angehörige der Hochschule Osnabrück im Hochschulnetz https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 185 01 3519 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 370 01 4370 E-Book: Zugriff im HCU-Netz. Zugriff von außerhalb nur für HCU-Angehörige möglich https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 2020 01 DE-Ch1 https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 2111 02 DE-944 https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 132 01 0959 00 EBooks Elsevier Engineering 105 01 0841 OLR-ELV-TEST 132 01 0959 EBS Elsevier 185 01 3519 OLR-EBS 370 01 4370 EBS Elsevier
spelling	9780323389280 978-0-323-38928-0 0323389287 0-323-38928-7 (DE-627)879397179 (DE-576)9879397177 (DE-599)GBV879397179 (OCoLC)952561926 (ELSEVIER)ocn952561926 (EBP)003087379 DE-627 eng DE-627 rda eng XA-GB TJ1191.5 TEC 009000 bisacsh TEC 035000 bisacsh Luttge, Regina verfasserin aut Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications Regina Luttge Second edition Oxford, UK William Andrew is an imprint of Elsevier 2016 1 Online-Ressource Text txt rdacontent Computermedien c rdamedia Online-Ressource cr rdacarrier Micro and nano technologies Includes index Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications, Second Edition, focuses on the industrial perspective on micro- and nanofabrication methods, including large-scale manufacturing, the transfer of concepts from lab to factory, process tolerance, yield, robustness, and cost. The book gives a history of miniaturization and micro- and nanofabrication, and surveys industrial fields of application, illustrating fabrication processes of relevant micro and nano devices. In this second edition, a new focus area is nanoengineering as an important driver for the rise of novel applications by integrating bio-nanofabrication into microsystems. In addition, new material covers lithographic mould fabrication for soft-lithography, nanolithography techniques, corner lithography, advances in nanosensing, and the developing field of advanced functional materials. Luttge also explores the view that micro- and nanofabrication will be the key driver for a "tech-revolution" in biology and medical research that includes a new case study that covers the developing organ-on-chip concept Online-Ausg. Microfabrication Microfabrication TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General) TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference Microfabrication Microfabrication (OCoLC)fst01019807 Electronic books 9780323378284 Erscheint auch als Druck-Ausgabe Luttge, Regina Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications Saint Louis : Elsevier Science, ©2016 9780323378284 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 X:ELSEVIER Verlag Volltext https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 X:ELSEVIER Verlag lizenzpflichtig http://www.gbv.de/dms/bowker/toc/9780323378284.pdf V:DE-601 X:Bowker pdf/application 2017-02-24 Verlag Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis BSZ-33-EBS-HSAA GBV-33-EBS-MRI GBV-33-EBS-ZHB GBV-33-Freedom-BL ZDB-33-EBS ZDB-33-EGE 2016 ZDB-33-ESD GBV-33-EBS-HST BSZ-33-EBS-C1UB GBV_ILN_105 ISIL_DE-841 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_132 ISIL_DE-959 GBV_ILN_185 ISIL_DE-Sra5 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 GBV_ILN_2020 ISIL_DE-Ch1 GBV_ILN_2111 ISIL_DE-944 BO 045F 670 105 01 0841 1787623823 05 --%%-- KaufEBook202103 --%%-- --%%-- OLR-ELV-TEST Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. Testzugang ZHB Lübeck z 26-07-18 132 01 0959 4499992109 EBS Elsevier Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. Zeitlich begrenzte Lizenzierung k 13-03-24 185 01 3519 4514712671 OLR-EBS Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. z 23-04-24 370 01 4370 4540274791 EBS Elsevier Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. i z 20-06-24 2020 01 DE-Ch1 4520360404 00 --%%-- --%%-- n n Campuslizenz l01 03-05-24 2111 02 DE-944 404605431X 00 --%%-- E-Book Elsevier --%%-- n Elektronischer Volltext - Campuslizenz l01 27-01-22 105 01 0841 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 132 01 0959 Zugriff nur für Angehörige der Hochschule Osnabrück im Hochschulnetz https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 185 01 3519 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 370 01 4370 E-Book: Zugriff im HCU-Netz. Zugriff von außerhalb nur für HCU-Angehörige möglich https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 2020 01 DE-Ch1 https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 2111 02 DE-944 https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 132 01 0959 00 EBooks Elsevier Engineering 105 01 0841 OLR-ELV-TEST 132 01 0959 EBS Elsevier 185 01 3519 OLR-EBS 370 01 4370 EBS Elsevier
allfields_unstemmed	9780323389280 978-0-323-38928-0 0323389287 0-323-38928-7 (DE-627)879397179 (DE-576)9879397177 (DE-599)GBV879397179 (OCoLC)952561926 (ELSEVIER)ocn952561926 (EBP)003087379 DE-627 eng DE-627 rda eng XA-GB TJ1191.5 TEC 009000 bisacsh TEC 035000 bisacsh Luttge, Regina verfasserin aut Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications Regina Luttge Second edition Oxford, UK William Andrew is an imprint of Elsevier 2016 1 Online-Ressource Text txt rdacontent Computermedien c rdamedia Online-Ressource cr rdacarrier Micro and nano technologies Includes index Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications, Second Edition, focuses on the industrial perspective on micro- and nanofabrication methods, including large-scale manufacturing, the transfer of concepts from lab to factory, process tolerance, yield, robustness, and cost. The book gives a history of miniaturization and micro- and nanofabrication, and surveys industrial fields of application, illustrating fabrication processes of relevant micro and nano devices. In this second edition, a new focus area is nanoengineering as an important driver for the rise of novel applications by integrating bio-nanofabrication into microsystems. In addition, new material covers lithographic mould fabrication for soft-lithography, nanolithography techniques, corner lithography, advances in nanosensing, and the developing field of advanced functional materials. Luttge also explores the view that micro- and nanofabrication will be the key driver for a "tech-revolution" in biology and medical research that includes a new case study that covers the developing organ-on-chip concept Online-Ausg. Microfabrication Microfabrication TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General) TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference Microfabrication Microfabrication (OCoLC)fst01019807 Electronic books 9780323378284 Erscheint auch als Druck-Ausgabe Luttge, Regina Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications Saint Louis : Elsevier Science, ©2016 9780323378284 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 X:ELSEVIER Verlag Volltext https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 X:ELSEVIER Verlag lizenzpflichtig http://www.gbv.de/dms/bowker/toc/9780323378284.pdf V:DE-601 X:Bowker pdf/application 2017-02-24 Verlag Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis BSZ-33-EBS-HSAA GBV-33-EBS-MRI GBV-33-EBS-ZHB GBV-33-Freedom-BL ZDB-33-EBS ZDB-33-EGE 2016 ZDB-33-ESD GBV-33-EBS-HST BSZ-33-EBS-C1UB GBV_ILN_105 ISIL_DE-841 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_132 ISIL_DE-959 GBV_ILN_185 ISIL_DE-Sra5 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 GBV_ILN_2020 ISIL_DE-Ch1 GBV_ILN_2111 ISIL_DE-944 BO 045F 670 105 01 0841 1787623823 05 --%%-- KaufEBook202103 --%%-- --%%-- OLR-ELV-TEST Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. Testzugang ZHB Lübeck z 26-07-18 132 01 0959 4499992109 EBS Elsevier Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. Zeitlich begrenzte Lizenzierung k 13-03-24 185 01 3519 4514712671 OLR-EBS Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. z 23-04-24 370 01 4370 4540274791 EBS Elsevier Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. i z 20-06-24 2020 01 DE-Ch1 4520360404 00 --%%-- --%%-- n n Campuslizenz l01 03-05-24 2111 02 DE-944 404605431X 00 --%%-- E-Book Elsevier --%%-- n Elektronischer Volltext - Campuslizenz l01 27-01-22 105 01 0841 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 132 01 0959 Zugriff nur für Angehörige der Hochschule Osnabrück im Hochschulnetz https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 185 01 3519 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 370 01 4370 E-Book: Zugriff im HCU-Netz. Zugriff von außerhalb nur für HCU-Angehörige möglich https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 2020 01 DE-Ch1 https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 2111 02 DE-944 https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 132 01 0959 00 EBooks Elsevier Engineering 105 01 0841 OLR-ELV-TEST 132 01 0959 EBS Elsevier 185 01 3519 OLR-EBS 370 01 4370 EBS Elsevier
allfieldsGer	9780323389280 978-0-323-38928-0 0323389287 0-323-38928-7 (DE-627)879397179 (DE-576)9879397177 (DE-599)GBV879397179 (OCoLC)952561926 (ELSEVIER)ocn952561926 (EBP)003087379 DE-627 eng DE-627 rda eng XA-GB TJ1191.5 TEC 009000 bisacsh TEC 035000 bisacsh Luttge, Regina verfasserin aut Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications Regina Luttge Second edition Oxford, UK William Andrew is an imprint of Elsevier 2016 1 Online-Ressource Text txt rdacontent Computermedien c rdamedia Online-Ressource cr rdacarrier Micro and nano technologies Includes index Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications, Second Edition, focuses on the industrial perspective on micro- and nanofabrication methods, including large-scale manufacturing, the transfer of concepts from lab to factory, process tolerance, yield, robustness, and cost. The book gives a history of miniaturization and micro- and nanofabrication, and surveys industrial fields of application, illustrating fabrication processes of relevant micro and nano devices. In this second edition, a new focus area is nanoengineering as an important driver for the rise of novel applications by integrating bio-nanofabrication into microsystems. In addition, new material covers lithographic mould fabrication for soft-lithography, nanolithography techniques, corner lithography, advances in nanosensing, and the developing field of advanced functional materials. Luttge also explores the view that micro- and nanofabrication will be the key driver for a "tech-revolution" in biology and medical research that includes a new case study that covers the developing organ-on-chip concept Online-Ausg. Microfabrication Microfabrication TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General) TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference Microfabrication Microfabrication (OCoLC)fst01019807 Electronic books 9780323378284 Erscheint auch als Druck-Ausgabe Luttge, Regina Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications Saint Louis : Elsevier Science, ©2016 9780323378284 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 X:ELSEVIER Verlag Volltext https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 X:ELSEVIER Verlag lizenzpflichtig http://www.gbv.de/dms/bowker/toc/9780323378284.pdf V:DE-601 X:Bowker pdf/application 2017-02-24 Verlag Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis BSZ-33-EBS-HSAA GBV-33-EBS-MRI GBV-33-EBS-ZHB GBV-33-Freedom-BL ZDB-33-EBS ZDB-33-EGE 2016 ZDB-33-ESD GBV-33-EBS-HST BSZ-33-EBS-C1UB GBV_ILN_105 ISIL_DE-841 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_132 ISIL_DE-959 GBV_ILN_185 ISIL_DE-Sra5 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 GBV_ILN_2020 ISIL_DE-Ch1 GBV_ILN_2111 ISIL_DE-944 BO 045F 670 105 01 0841 1787623823 05 --%%-- KaufEBook202103 --%%-- --%%-- OLR-ELV-TEST Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. Testzugang ZHB Lübeck z 26-07-18 132 01 0959 4499992109 EBS Elsevier Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. Zeitlich begrenzte Lizenzierung k 13-03-24 185 01 3519 4514712671 OLR-EBS Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. z 23-04-24 370 01 4370 4540274791 EBS Elsevier Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. i z 20-06-24 2020 01 DE-Ch1 4520360404 00 --%%-- --%%-- n n Campuslizenz l01 03-05-24 2111 02 DE-944 404605431X 00 --%%-- E-Book Elsevier --%%-- n Elektronischer Volltext - Campuslizenz l01 27-01-22 105 01 0841 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 132 01 0959 Zugriff nur für Angehörige der Hochschule Osnabrück im Hochschulnetz https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 185 01 3519 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 370 01 4370 E-Book: Zugriff im HCU-Netz. Zugriff von außerhalb nur für HCU-Angehörige möglich https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 2020 01 DE-Ch1 https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 2111 02 DE-944 https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 132 01 0959 00 EBooks Elsevier Engineering 105 01 0841 OLR-ELV-TEST 132 01 0959 EBS Elsevier 185 01 3519 OLR-EBS 370 01 4370 EBS Elsevier
allfieldsSound	9780323389280 978-0-323-38928-0 0323389287 0-323-38928-7 (DE-627)879397179 (DE-576)9879397177 (DE-599)GBV879397179 (OCoLC)952561926 (ELSEVIER)ocn952561926 (EBP)003087379 DE-627 eng DE-627 rda eng XA-GB TJ1191.5 TEC 009000 bisacsh TEC 035000 bisacsh Luttge, Regina verfasserin aut Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications Regina Luttge Second edition Oxford, UK William Andrew is an imprint of Elsevier 2016 1 Online-Ressource Text txt rdacontent Computermedien c rdamedia Online-Ressource cr rdacarrier Micro and nano technologies Includes index Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications, Second Edition, focuses on the industrial perspective on micro- and nanofabrication methods, including large-scale manufacturing, the transfer of concepts from lab to factory, process tolerance, yield, robustness, and cost. The book gives a history of miniaturization and micro- and nanofabrication, and surveys industrial fields of application, illustrating fabrication processes of relevant micro and nano devices. In this second edition, a new focus area is nanoengineering as an important driver for the rise of novel applications by integrating bio-nanofabrication into microsystems. In addition, new material covers lithographic mould fabrication for soft-lithography, nanolithography techniques, corner lithography, advances in nanosensing, and the developing field of advanced functional materials. Luttge also explores the view that micro- and nanofabrication will be the key driver for a "tech-revolution" in biology and medical research that includes a new case study that covers the developing organ-on-chip concept Online-Ausg. Microfabrication Microfabrication TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General) TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference Microfabrication Microfabrication (OCoLC)fst01019807 Electronic books 9780323378284 Erscheint auch als Druck-Ausgabe Luttge, Regina Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications Saint Louis : Elsevier Science, ©2016 9780323378284 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 X:ELSEVIER Verlag Volltext https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 X:ELSEVIER Verlag lizenzpflichtig http://www.gbv.de/dms/bowker/toc/9780323378284.pdf V:DE-601 X:Bowker pdf/application 2017-02-24 Verlag Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis BSZ-33-EBS-HSAA GBV-33-EBS-MRI GBV-33-EBS-ZHB GBV-33-Freedom-BL ZDB-33-EBS ZDB-33-EGE 2016 ZDB-33-ESD GBV-33-EBS-HST BSZ-33-EBS-C1UB GBV_ILN_105 ISIL_DE-841 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_132 ISIL_DE-959 GBV_ILN_185 ISIL_DE-Sra5 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 GBV_ILN_2020 ISIL_DE-Ch1 GBV_ILN_2111 ISIL_DE-944 BO 045F 670 105 01 0841 1787623823 05 --%%-- KaufEBook202103 --%%-- --%%-- OLR-ELV-TEST Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. Testzugang ZHB Lübeck z 26-07-18 132 01 0959 4499992109 EBS Elsevier Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. Zeitlich begrenzte Lizenzierung k 13-03-24 185 01 3519 4514712671 OLR-EBS Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. z 23-04-24 370 01 4370 4540274791 EBS Elsevier Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. i z 20-06-24 2020 01 DE-Ch1 4520360404 00 --%%-- --%%-- n n Campuslizenz l01 03-05-24 2111 02 DE-944 404605431X 00 --%%-- E-Book Elsevier --%%-- n Elektronischer Volltext - Campuslizenz l01 27-01-22 105 01 0841 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 132 01 0959 Zugriff nur für Angehörige der Hochschule Osnabrück im Hochschulnetz https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 185 01 3519 http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 370 01 4370 E-Book: Zugriff im HCU-Netz. Zugriff von außerhalb nur für HCU-Angehörige möglich https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 2020 01 DE-Ch1 https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 2111 02 DE-944 https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 132 01 0959 00 EBooks Elsevier Engineering 105 01 0841 OLR-ELV-TEST 132 01 0959 EBS Elsevier 185 01 3519 OLR-EBS 370 01 4370 EBS Elsevier
language	English
format_phy_str_mv	Book
building	105 132 185 370 2020:0 2111:0
institution	findex.gbv.de
selectbib_iln_str_mv	105@ 132@ 185@ 370@ 2020@01 2111@01
topic_facet	Microfabrication TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General) TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference
sw_local_iln_str_mv	132:EBooks Elsevier Engineering 0959:EBooks Elsevier Engineering
isfreeaccess_bool	false
authorswithroles_txt_mv	Luttge, Regina @@aut@@
publishDateDaySort_date	2016-01-01T00:00:00Z
id	879397179
signature_iln	105:KaufEBook202103 0841:KaufEBook202103 2111:E-Book Elsevier DE-944:E-Book Elsevier
signature_iln_str_mv	105:KaufEBook202103 0841:KaufEBook202103 2111:E-Book Elsevier DE-944:E-Book Elsevier
signature_iln_scis_mv	105:KaufEBook202103 0841:KaufEBook202103 2111:E-Book Elsevier DE-944:E-Book Elsevier
genre_facet	Electronic books
language_de	englisch
standort_str_mv	--%%--
callnumber-first	T - Technology
series2	Micro and nano technologies
standort_iln_str_mv	105:--%%-- 0841:--%%-- 2020:--%%-- DE-Ch1:--%%-- 2111:--%%-- DE-944:--%%--
author	Luttge, Regina
spellingShingle	Luttge, Regina misc TJ1191.5 misc Microfabrication misc TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General) misc TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference 132 EBooks Elsevier Engineering Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications
authorStr	Luttge, Regina
format	eBook
delete_txt_mv	keep
author_role	aut
collection	KXP GVK SWB
publishPlace	Oxford, UK
remote_str	true
abrufzeichen_iln_str_mv	105@OLR-ELV-TEST 132@EBS Elsevier 185@OLR-EBS 370@EBS Elsevier
abrufzeichen_iln_scis_mv	105@OLR-ELV-TEST 132@EBS Elsevier 185@OLR-EBS 370@EBS Elsevier
callnumber-label	TJ1191
last_changed_iln_str_mv	105@26-07-18 132@13-03-24 185@23-04-24 370@20-06-24 2020@03-05-24 2111@27-01-22
illustrated	Not Illustrated
topic_title	TJ1191.5 132 01 0959 00 EBooks Elsevier Engineering Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications Regina Luttge Microfabrication TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General) TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference Microfabrication (OCoLC)fst01019807
publisher	William Andrew is an imprint of Elsevier
publisherStr	William Andrew is an imprint of Elsevier
topic	misc TJ1191.5 misc Microfabrication misc TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General) misc TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference 132 EBooks Elsevier Engineering
topic_unstemmed	misc TJ1191.5 misc Microfabrication misc TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General) misc TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference 132 EBooks Elsevier Engineering
topic_browse	misc TJ1191.5 misc Microfabrication misc TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General) misc TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference 132 EBooks Elsevier Engineering
format_facet	Elektronische Bücher Bücher Elektronische Ressource
standort_txtP_mv	--%%--
format_main_str_mv	Text Buch
carriertype_str_mv	cr
signature	KaufEBook202103 --%%-- E-Book Elsevier
signature_str_mv	KaufEBook202103 --%%-- E-Book Elsevier
isbn	9780323389280 0323389287 9780323378284 0323378285
edition	Second edition
isfreeaccess_txt	false
title	Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications
ctrlnum	(DE-627)879397179 (DE-576)9879397177 (DE-599)GBV879397179 (OCoLC)952561926 (ELSEVIER)ocn952561926 (EBP)003087379
exemplarkommentar_str_mv	105@Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. 105@Testzugang ZHB Lübeck 132@Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. 132@Zeitlich begrenzte Lizenzierung 185@Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt. 370@Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots. 2020@Campuslizenz 2111@Elektronischer Volltext - Campuslizenz
title_full	Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications Regina Luttge
author_sort	Luttge, Regina
callnumber-first-code	T
lang_code	eng
isOA_bool	false
recordtype	marc
genre	Electronic books
publishDateSort	2016
contenttype_str_mv	txt
author_browse	Luttge, Regina
selectkey	105:z 132:k 185:z 370:z 2020:l 2111:l
physical	1 Online-Ressource
class	TJ1191.5
format_se	Elektronische Bücher
countryofpublication_str_mv	XA-GB
author-letter	Luttge, Regina
normlink	(OCOLC)FST01019807
normlink_prefix_str_mv	(OCoLC)fst01019807
title_sort	nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications
callnumber	TJ1191.5
title_auth	Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications
abstract	Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications, Second Edition, focuses on the industrial perspective on micro- and nanofabrication methods, including large-scale manufacturing, the transfer of concepts from lab to factory, process tolerance, yield, robustness, and cost. The book gives a history of miniaturization and micro- and nanofabrication, and surveys industrial fields of application, illustrating fabrication processes of relevant micro and nano devices. In this second edition, a new focus area is nanoengineering as an important driver for the rise of novel applications by integrating bio-nanofabrication into microsystems. In addition, new material covers lithographic mould fabrication for soft-lithography, nanolithography techniques, corner lithography, advances in nanosensing, and the developing field of advanced functional materials. Luttge also explores the view that micro- and nanofabrication will be the key driver for a "tech-revolution" in biology and medical research that includes a new case study that covers the developing organ-on-chip concept Includes index
abstractGer	Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications, Second Edition, focuses on the industrial perspective on micro- and nanofabrication methods, including large-scale manufacturing, the transfer of concepts from lab to factory, process tolerance, yield, robustness, and cost. The book gives a history of miniaturization and micro- and nanofabrication, and surveys industrial fields of application, illustrating fabrication processes of relevant micro and nano devices. In this second edition, a new focus area is nanoengineering as an important driver for the rise of novel applications by integrating bio-nanofabrication into microsystems. In addition, new material covers lithographic mould fabrication for soft-lithography, nanolithography techniques, corner lithography, advances in nanosensing, and the developing field of advanced functional materials. Luttge also explores the view that micro- and nanofabrication will be the key driver for a "tech-revolution" in biology and medical research that includes a new case study that covers the developing organ-on-chip concept Includes index
abstract_unstemmed	Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications, Second Edition, focuses on the industrial perspective on micro- and nanofabrication methods, including large-scale manufacturing, the transfer of concepts from lab to factory, process tolerance, yield, robustness, and cost. The book gives a history of miniaturization and micro- and nanofabrication, and surveys industrial fields of application, illustrating fabrication processes of relevant micro and nano devices. In this second edition, a new focus area is nanoengineering as an important driver for the rise of novel applications by integrating bio-nanofabrication into microsystems. In addition, new material covers lithographic mould fabrication for soft-lithography, nanolithography techniques, corner lithography, advances in nanosensing, and the developing field of advanced functional materials. Luttge also explores the view that micro- and nanofabrication will be the key driver for a "tech-revolution" in biology and medical research that includes a new case study that covers the developing organ-on-chip concept Includes index
collection_details	BSZ-33-EBS-HSAA GBV-33-EBS-MRI GBV-33-EBS-ZHB GBV-33-Freedom-BL ZDB-33-EBS ZDB-33-EGE ZDB-33-ESD GBV-33-EBS-HST BSZ-33-EBS-C1UB GBV_ILN_105 ISIL_DE-841 SYSFLAG_1 GBV_KXP GBV_ILN_132 ISIL_DE-959 GBV_ILN_185 ISIL_DE-Sra5 GBV_ILN_370 ISIL_DE-1373 GBV_ILN_2020 ISIL_DE-Ch1 GBV_ILN_2111 ISIL_DE-944
title_short	Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications
url	http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284 http://www.gbv.de/dms/bowker/toc/9780323378284.pdf
ausleihindikator_str_mv	105:- 132 185 370 2020:n 2111:-
remote_bool	true
callnumber-subject	TJ - Mechanical Engineering and Machinery
mediatype_str_mv	c
isOA_txt	false
hochschulschrift_bool	false
callnumber-a	TJ1191.5
up_date	2024-07-26T14:11:07.940Z
fullrecord	<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01000cam a22002652 4500</leader><controlfield tag="001">879397179</controlfield><controlfield tag="003">DE-627</controlfield><controlfield tag="005">20240503140444.0</controlfield><controlfield tag="007">cr uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">170209s2016 xxk\|\|\|\|\|o 00\| \|\|eng c</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9780323389280</subfield><subfield code="9">978-0-323-38928-0</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">0323389287</subfield><subfield code="9">0-323-38928-7</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-627)879397179</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-576)9879397177</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)GBV879397179</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)952561926</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(ELSEVIER)ocn952561926</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(EBP)003087379</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-627</subfield><subfield code="b">eng</subfield><subfield code="c">DE-627</subfield><subfield code="e">rda</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">eng</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="c">XA-GB</subfield></datafield><datafield tag="050" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">TJ1191.5</subfield></datafield><datafield tag="072" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">TEC 009000</subfield><subfield code="2">bisacsh</subfield></datafield><datafield tag="072" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">TEC 035000</subfield><subfield code="2">bisacsh</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Luttge, Regina</subfield><subfield code="e">verfasserin</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications</subfield><subfield code="c">Regina Luttge</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Second edition</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Oxford, UK</subfield><subfield code="b">William Andrew is an imprint of Elsevier</subfield><subfield code="c">2016</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 Online-Ressource</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Text</subfield><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Computermedien</subfield><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Online-Ressource</subfield><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Micro and nano technologies</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Includes index</subfield></datafield><datafield tag="520" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications, Second Edition, focuses on the industrial perspective on micro- and nanofabrication methods, including large-scale manufacturing, the transfer of concepts from lab to factory, process tolerance, yield, robustness, and cost. The book gives a history of miniaturization and micro- and nanofabrication, and surveys industrial fields of application, illustrating fabrication processes of relevant micro and nano devices. In this second edition, a new focus area is nanoengineering as an important driver for the rise of novel applications by integrating bio-nanofabrication into microsystems. In addition, new material covers lithographic mould fabrication for soft-lithography, nanolithography techniques, corner lithography, advances in nanosensing, and the developing field of advanced functional materials. Luttge also explores the view that micro- and nanofabrication will be the key driver for a "tech-revolution" in biology and medical research that includes a new case study that covers the developing organ-on-chip concept</subfield></datafield><datafield tag="533" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Online-Ausg.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Microfabrication</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Microfabrication</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General)</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Microfabrication</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Microfabrication</subfield><subfield code="0">(OCoLC)fst01019807</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Electronic books</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="1" ind2=" "><subfield code="z">9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="0" ind2="8"><subfield code="i">Erscheint auch als</subfield><subfield code="n">Druck-Ausgabe</subfield><subfield code="a">Luttge, Regina</subfield><subfield code="t">Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications</subfield><subfield code="d">Saint Louis : Elsevier Science, ©2016</subfield><subfield code="z">9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield><subfield code="m">X:ELSEVIER</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield><subfield code="m">X:ELSEVIER</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="z">lizenzpflichtig</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="u">http://www.gbv.de/dms/bowker/toc/9780323378284.pdf</subfield><subfield code="m">V:DE-601</subfield><subfield code="m">X:Bowker</subfield><subfield code="q">pdf/application</subfield><subfield code="v">2017-02-24</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="y">Inhaltsverzeichnis</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">BSZ-33-EBS-HSAA</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV-33-EBS-MRI</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV-33-EBS-ZHB</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV-33-Freedom-BL</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZDB-33-EBS</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZDB-33-EGE</subfield><subfield code="b">2016</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZDB-33-ESD</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV-33-EBS-HST</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">BSZ-33-EBS-C1UB</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_105</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-841</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">SYSFLAG_1</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_KXP</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_132</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-959</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_185</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-Sra5</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_370</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-1373</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_2020</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-Ch1</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_2111</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-944</subfield></datafield><datafield tag="951" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">BO</subfield></datafield><datafield tag="953" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">045F</subfield><subfield code="a">670</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">105</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0841</subfield><subfield code="b">1787623823</subfield><subfield code="c">05</subfield><subfield code="f">--%%--</subfield><subfield code="d">KaufEBook202103</subfield><subfield code="e">--%%--</subfield><subfield code="j">--%%--</subfield><subfield code="h">OLR-ELV-TEST</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="k">Testzugang ZHB Lübeck</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">26-07-18</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">132</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0959</subfield><subfield code="b">4499992109</subfield><subfield code="h">EBS Elsevier</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots.</subfield><subfield code="k">Zeitlich begrenzte Lizenzierung</subfield><subfield code="y">k</subfield><subfield code="z">13-03-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">185</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3519</subfield><subfield code="b">4514712671</subfield><subfield code="h">OLR-EBS</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">23-04-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">370</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">4370</subfield><subfield code="b">4540274791</subfield><subfield code="h">EBS Elsevier</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots.</subfield><subfield code="u">i</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">20-06-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">2020</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">DE-Ch1</subfield><subfield code="b">4520360404</subfield><subfield code="c">00</subfield><subfield code="f">--%%--</subfield><subfield code="d">--%%--</subfield><subfield code="e">n</subfield><subfield code="j">n</subfield><subfield code="k">Campuslizenz</subfield><subfield code="y">l01</subfield><subfield code="z">03-05-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">2111</subfield><subfield code="1">02</subfield><subfield code="x">DE-944</subfield><subfield code="b">404605431X</subfield><subfield code="c">00</subfield><subfield code="f">--%%--</subfield><subfield code="d">E-Book Elsevier</subfield><subfield code="e">--%%--</subfield><subfield code="j">n</subfield><subfield code="k">Elektronischer Volltext - Campuslizenz</subfield><subfield code="y">l01</subfield><subfield code="z">27-01-22</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">105</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0841</subfield><subfield code="r">http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">132</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0959</subfield><subfield code="y">Zugriff nur für Angehörige der Hochschule Osnabrück im Hochschulnetz</subfield><subfield code="r">https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">185</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3519</subfield><subfield code="r">http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">370</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">4370</subfield><subfield code="y">E-Book: Zugriff im HCU-Netz. Zugriff von außerhalb nur für HCU-Angehörige möglich</subfield><subfield code="r">https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">2020</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">DE-Ch1</subfield><subfield code="r">https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">2111</subfield><subfield code="1">02</subfield><subfield code="x">DE-944</subfield><subfield code="r">https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="982" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">132</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0959</subfield><subfield code="8">00</subfield><subfield code="a">EBooks Elsevier Engineering</subfield></datafield><datafield tag="995" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">105</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0841</subfield><subfield code="a">OLR-ELV-TEST</subfield></datafield><datafield tag="995" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">132</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0959</subfield><subfield code="a">EBS Elsevier</subfield></datafield><datafield tag="995" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">185</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3519</subfield><subfield code="a">OLR-EBS</subfield></datafield><datafield tag="995" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">370</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">4370</subfield><subfield code="a">EBS Elsevier</subfield></datafield></record></collection>
fulltext	Preface p. xi Preface to First Edition p. xiii Author Biography p. xvii Introduction … Philosophy of Micro/Nanofabrication … The Industry-Science Dualism … Industrial Applications … Purpose and Organization of This Book … References … Basic Technologies for Microsystems … Photolithography … Thin Films … Wet Deposition Techniques … Vapor Deposition Techniques … Silicon Micromachining … Etching … Surface Micromachining … Silicon Bulk Micromachining … Industrially Established Nonsilicon Processing … Quartz Etching … Glass Wet Etching … Photostructurable Glass … Powder Blasting … Plastic Microfabrication … Soft-Lithography … Principle of Soft-Lithography … Types of Soft-Lithography … Nanolithography … Why Do We Need the Term Nanolithography? … Primary Nanolithography Techniques … Secondary Nanolithography … Miscellaneous Nanolithographic Techniques Commonly Practiced … Conclusions … References … Advanced Microfabrication Methods … Deep Reactive Ion Etching … Microceramic Processing … Micromolding … Ceramic Microparts by LIGA … Utilizing Capillaries for Ceramic Micromolding … Utilizing Soft-Mold Replication … Ceramic Patterning on Curved Substrates … Patterning Ceramic Materials at Nanoscale Resolution … Speciality Substrates and Their Applications … Silicon-on-Insulator (SOI) … Electro-Optic Substrates … III/V Semiconductor Substrates … Advanced Non-Silicon and Silicon Hybrid Devices … Nanofabrication of Information Storage Devices … Integrated Optics … Planar Lightwave Circuits … Fabrication Example of an Integrated Optical Device … Integrated Optics in the MST Foundry Service Industry: A Case Study … Biohybrid Devices: A New Trend … Conclusions … References … Nanotechnology … Top-Down, Bottom-Up … Lithographic Techniques in Nanotechnology … Lithography for Nanoarrays … Top-Down Nanolithographic Principles … Nanolithographic Technologies for the Microelectronics Industry … Nanoimprint Technology … Case Studies: Nanoimprint Applications … Emerging Nanolithographic Technologies … LIL Development at NanoLab NL … LIL Nanoarrays for Cell Biology … Concluding Remarks on Emerging Nanolithography … Nanomaterials … Ordered Oxides … Oxide Nanoarrays: Definitions and Background … Principles of Oxide Nanoarray Fabrication … Ordered Oxides in Medical Applications … Advanced Functional Materials … Where Are We? … Where to Go From Here? … References … Micromechanical Transducers … Application Fields … Overview of Materials … Single Crystals … Amorphous Materials … Thick and Thin Film Hybrid Materials … Microactuation … Packaged Sensors … From Die to Device Level … From Device Level to System … Silicon as a Mechanical Material in Resonant Microdevices … Resonant Sensors … Diaphragms as Micromechanical Couplers … Information Society … Micro-Opto-Electromechanical Systems … Conclusions … References … Chemical and Biological Sensors at Component and Device Level … Application Field … Sensor Principles for the Collection of (Bio)Chemical Information … Optical Techniques … Electrochemical Techniques … Methodology of Sensor Development … Integrated chemFET Device: Case Study of a Semiconductor-Based pH Sensor Development … Integrated Clinical Diagnostics: A Medical Application for Electrochemical Sensor Arrays … From Microarray to Biochip Technology … Cell-Based Biosensor … Conclusions … References … Microfluidic Components, Devices and Integrated Lab-on-a-Chip Systems … Application Fields … Microfluidic Components … Passive Microvalves … Active Microvalves … Controlled Transport by Diffusion … Integration for Microfluidic Transport, Sensing and Dispensing … Lab-on-a-Chip … Miniaturized Particle and Cell Sorting Devices … Cell Cultures and Fermentation Processes on Chip … Device-to-World Connections: The MATAS Concept … From the Lab Bench to Industry: Microchip Capillary Electrophoresis … Is There a Need for a Microfluidic-Integrated System at the Doctor's Surgery? … The Technology Behind the Lithium Case … Microchip Capillary Electrophoresis Instrumentation … Sample to Chip Interface … Samples … Results and Conclusions from the LICETAS Project … Organ-on-Chip: A Paradigm Shift in Medical and Pharmaceutical Sciences … Lung-on-Chip … Brain-on-Chip … Conclusions … References … Microfabrication for Novel Products in Drug Delivery: An Example … Microneedle Research at University of Twente and Its Spin-Off … Desk Research: MNAs, Microfabrication and Transdermal Delivery of Insulin … Is There a Need for Microneedles? … Microneedles by Microfabrication Technologies … Are Microneedles Ready for Insulin Delivery? … Design Aspects for Microneedle Insulin Delivery … MNA- … -Insulin: A Brief Evaluation … Conclusions … References … Reflective Comments and Conclusions … Environmental Aspects … Health Aspects of ¿NP … Conclusions … References … Index …
_version_	1805651088970350592
fullrecord_marcxml	<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01000cam a22002652 4500</leader><controlfield tag="001">879397179</controlfield><controlfield tag="003">DE-627</controlfield><controlfield tag="005">20240503140444.0</controlfield><controlfield tag="007">cr uuu---uuuuu</controlfield><controlfield tag="008">170209s2016 xxk\|\|\|\|\|o 00\| \|\|eng c</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">9780323389280</subfield><subfield code="9">978-0-323-38928-0</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">0323389287</subfield><subfield code="9">0-323-38928-7</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-627)879397179</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-576)9879397177</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)GBV879397179</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)952561926</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(ELSEVIER)ocn952561926</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(EBP)003087379</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-627</subfield><subfield code="b">eng</subfield><subfield code="c">DE-627</subfield><subfield code="e">rda</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">eng</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="c">XA-GB</subfield></datafield><datafield tag="050" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">TJ1191.5</subfield></datafield><datafield tag="072" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">TEC 009000</subfield><subfield code="2">bisacsh</subfield></datafield><datafield tag="072" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">TEC 035000</subfield><subfield code="2">bisacsh</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Luttge, Regina</subfield><subfield code="e">verfasserin</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications</subfield><subfield code="c">Regina Luttge</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Second edition</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Oxford, UK</subfield><subfield code="b">William Andrew is an imprint of Elsevier</subfield><subfield code="c">2016</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">1 Online-Ressource</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Text</subfield><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Computermedien</subfield><subfield code="b">c</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Online-Ressource</subfield><subfield code="b">cr</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">Micro and nano technologies</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Includes index</subfield></datafield><datafield tag="520" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications, Second Edition, focuses on the industrial perspective on micro- and nanofabrication methods, including large-scale manufacturing, the transfer of concepts from lab to factory, process tolerance, yield, robustness, and cost. The book gives a history of miniaturization and micro- and nanofabrication, and surveys industrial fields of application, illustrating fabrication processes of relevant micro and nano devices. In this second edition, a new focus area is nanoengineering as an important driver for the rise of novel applications by integrating bio-nanofabrication into microsystems. In addition, new material covers lithographic mould fabrication for soft-lithography, nanolithography techniques, corner lithography, advances in nanosensing, and the developing field of advanced functional materials. Luttge also explores the view that micro- and nanofabrication will be the key driver for a "tech-revolution" in biology and medical research that includes a new case study that covers the developing organ-on-chip concept</subfield></datafield><datafield tag="533" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Online-Ausg.</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Microfabrication</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Microfabrication</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Engineering (General)</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Reference</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Microfabrication</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1=" " ind2="4"><subfield code="a">Microfabrication</subfield><subfield code="0">(OCoLC)fst01019807</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Electronic books</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="1" ind2=" "><subfield code="z">9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="776" ind1="0" ind2="8"><subfield code="i">Erscheint auch als</subfield><subfield code="n">Druck-Ausgabe</subfield><subfield code="a">Luttge, Regina</subfield><subfield code="t">Nano- and Microfabrication for Industrial and Biomedical Applications</subfield><subfield code="d">Saint Louis : Elsevier Science, ©2016</subfield><subfield code="z">9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield><subfield code="m">X:ELSEVIER</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="3">Volltext</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="0"><subfield code="u">https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield><subfield code="m">X:ELSEVIER</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="z">lizenzpflichtig</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="u">http://www.gbv.de/dms/bowker/toc/9780323378284.pdf</subfield><subfield code="m">V:DE-601</subfield><subfield code="m">X:Bowker</subfield><subfield code="q">pdf/application</subfield><subfield code="v">2017-02-24</subfield><subfield code="x">Verlag</subfield><subfield code="y">Inhaltsverzeichnis</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">BSZ-33-EBS-HSAA</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV-33-EBS-MRI</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV-33-EBS-ZHB</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV-33-Freedom-BL</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZDB-33-EBS</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZDB-33-EGE</subfield><subfield code="b">2016</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZDB-33-ESD</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV-33-EBS-HST</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">BSZ-33-EBS-C1UB</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_105</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-841</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">SYSFLAG_1</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_KXP</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_132</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-959</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_185</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-Sra5</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_370</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-1373</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_2020</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-Ch1</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">GBV_ILN_2111</subfield></datafield><datafield tag="912" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ISIL_DE-944</subfield></datafield><datafield tag="951" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">BO</subfield></datafield><datafield tag="953" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">045F</subfield><subfield code="a">670</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">105</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0841</subfield><subfield code="b">1787623823</subfield><subfield code="c">05</subfield><subfield code="f">--%%--</subfield><subfield code="d">KaufEBook202103</subfield><subfield code="e">--%%--</subfield><subfield code="j">--%%--</subfield><subfield code="h">OLR-ELV-TEST</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="k">Testzugang ZHB Lübeck</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">26-07-18</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">132</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0959</subfield><subfield code="b">4499992109</subfield><subfield code="h">EBS Elsevier</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots.</subfield><subfield code="k">Zeitlich begrenzte Lizenzierung</subfield><subfield code="y">k</subfield><subfield code="z">13-03-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">185</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3519</subfield><subfield code="b">4514712671</subfield><subfield code="h">OLR-EBS</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Die Weitergabe an Dritte sowie systematisches Downloaden sind untersagt.</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">23-04-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">370</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">4370</subfield><subfield code="b">4540274791</subfield><subfield code="h">EBS Elsevier</subfield><subfield code="k">Vervielfältigungen (z.B. Kopien, Downloads) sind nur von einzelnen Kapiteln oder Seiten und nur zum eigenen wissenschaftlichen Gebrauch erlaubt. Keine Weitergabe an Dritte. Kein systematisches Downloaden durch Robots.</subfield><subfield code="u">i</subfield><subfield code="y">z</subfield><subfield code="z">20-06-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">2020</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">DE-Ch1</subfield><subfield code="b">4520360404</subfield><subfield code="c">00</subfield><subfield code="f">--%%--</subfield><subfield code="d">--%%--</subfield><subfield code="e">n</subfield><subfield code="j">n</subfield><subfield code="k">Campuslizenz</subfield><subfield code="y">l01</subfield><subfield code="z">03-05-24</subfield></datafield><datafield tag="980" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">2111</subfield><subfield code="1">02</subfield><subfield code="x">DE-944</subfield><subfield code="b">404605431X</subfield><subfield code="c">00</subfield><subfield code="f">--%%--</subfield><subfield code="d">E-Book Elsevier</subfield><subfield code="e">--%%--</subfield><subfield code="j">n</subfield><subfield code="k">Elektronischer Volltext - Campuslizenz</subfield><subfield code="y">l01</subfield><subfield code="z">27-01-22</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">105</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0841</subfield><subfield code="r">http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">132</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0959</subfield><subfield code="y">Zugriff nur für Angehörige der Hochschule Osnabrück im Hochschulnetz</subfield><subfield code="r">https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">185</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3519</subfield><subfield code="r">http://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">370</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">4370</subfield><subfield code="y">E-Book: Zugriff im HCU-Netz. Zugriff von außerhalb nur für HCU-Angehörige möglich</subfield><subfield code="r">https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">2020</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">DE-Ch1</subfield><subfield code="r">https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="981" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">2111</subfield><subfield code="1">02</subfield><subfield code="x">DE-944</subfield><subfield code="r">https://www.sciencedirect.com/science/book/9780323378284</subfield></datafield><datafield tag="982" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">132</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0959</subfield><subfield code="8">00</subfield><subfield code="a">EBooks Elsevier Engineering</subfield></datafield><datafield tag="995" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">105</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0841</subfield><subfield code="a">OLR-ELV-TEST</subfield></datafield><datafield tag="995" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">132</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">0959</subfield><subfield code="a">EBS Elsevier</subfield></datafield><datafield tag="995" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">185</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">3519</subfield><subfield code="a">OLR-EBS</subfield></datafield><datafield tag="995" ind1=" " ind2=" "><subfield code="2">370</subfield><subfield code="1">01</subfield><subfield code="x">4370</subfield><subfield code="a">EBS Elsevier</subfield></datafield></record></collection>
score	7.167818

Nicht das Richtige dabei?

Schreiben Sie uns!

Nano- and microfabrication for industrial and biomedical applications

Nicht das Richtige dabei?

Zugang & Verfügbarkeit

Vorhandene Bände

Nicht das Richtige dabei?