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Aufsätze
1
Design and simulation of high aspect ratio motion sensors
von: Yao, L.
1995, in:
Microsystem technologies
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2
Design of an electrostatically excited H-type resonant gyroscope suitable for fabrication using the LIGA process
von: Yao, L.
1998, in:
Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers / D
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3
Design and simulation of high aspect ratio motion sensors
von: Yao, L.
1996, in:
Microsystem technologies
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4
Design and simulation of high aspect ratio motion sensors
von: Yao, L.
1996, in:
Microsystem technologies
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