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Aufsätze
1
Time-of-flight neutral mass and velocity spectrometer for atmospheric research
von: Fujikawa, N.
2002, in:
Review of scientific instruments
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2
Parallel Down Flow Rinsl: Water Saving Technology in Wafer Rinse
von: Hiratsuka, Y.
1996, in:
MRS online proceedings library
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3
Impact of substrate deformation on demolding force for thermal imprint process
von: Kawata, H
2010, in:
Journal of vacuum science and technology / B
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4
Propane oxidation over various metal molybdate catalysts
von: Yoon, Y.-S.
1995, in:
Catalysis today
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5
High aspect ratio fine pattern transfer using a novel mold by nanoimprint lithography 06FC15
von: Sakamoto, J
2011, in:
Journal of vacuum science and technology / B
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