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Aufsätze
1
Ultra-Low Power CMOS Readout for Resonant MEMS Strain Sensors
von: Marco Crescentini
2018, in:
Proceedings
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2
Measurement of Residual Stress and Young’s Modulus on Micromachined Monocrystalline 3C-SiC Layers Grown on <111< and <100< Silicon
von: Sergio Sapienza
2021, in:
Micromachines
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