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Aufsätze
1
Reactive deposition of TiN films by magnetron with magnetized hollow cathode enhanced target
von: Baránková, H.
2018, in:
Reconstructing historical atmospheric mercury deposition in Western Europe using: Misten peat bog cores, Belgium
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2
Optimal target sputtering mode for aluminum nitride thin film deposition by high power pulsed magnetron sputtering
von: Ma, D.L.
2018, in:
Vacuum
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