Cryogenic Transport Characteristics of P-Type Gate-All-Around Silicon Nanowire MOSFETs

A 16-nm-L<sub<g</sub< p-type Gate-all-around (GAA) silicon nanowire (Si NW) metal oxide semiconductor field effect transistor (MOSFET) was fabricated based on the mainstream bulk fin field-effect transistor (FinFET) technology. The temperature dependence of electrical characteristics for...
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Autor*in:

Jie Gu [verfasserIn]

Qingzhu Zhang [verfasserIn]

Zhenhua Wu [verfasserIn]

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Tianchun Ye [verfasserIn]

Format:

E-Artikel

Sprache:

Englisch

Erschienen:

2021

Schlagwörter:

gate-all-around

Si nanowire

cryo-CMOS

one-dimensional hole transport

Übergeordnetes Werk:

In: Nanomaterials - MDPI AG, 2012, 11(2021), 2, p 309

Übergeordnetes Werk:

volume:11 ; year:2021 ; number:2, p 309

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DOI / URN:

10.3390/nano11020309

Katalog-ID:

DOAJ057986207

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