The Modeling of the Radiation Enhanced Diffusion of Boron in Silicon

Gespeichert in:
Autor*in:

Gadiyak, G.V. [verfasserIn]

Kachurin, G.A. [verfasserIn]

Shatrov, V.I. [verfasserIn]

Tyshchenko, I.E. [verfasserIn]

Format:

E-Artikel

Sprache:

Englisch

Erschienen:

1994

Übergeordnetes Werk:

In: Journal of the Mechanical Behavior of Materials - De Gruyter, 2019, 5(1994), 3, Seite 307-314

Übergeordnetes Werk:

volume:5 ; year:1994 ; number:3 ; pages:307-314

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DOI / URN:

10.1515/JMBM.1994.5.3.307

Katalog-ID:

DOAJ062606506

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