Spatially Separated Heterodyne Grating Interferometer for In-Plane and Out-of-Plane Displacement Measurements

Grating interferometers that measure in-plane and out-of-plane displacements are not only effective two-degree-of-freedom (DOF) sensors, but are also basic units of six-DOF measurement systems. Besides resolution and accuracy, periodic nonlinear errors, misalignment tolerance, and size of reading he...
Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Autor*in:

Di Chang [verfasserIn]

Ziqi Yin [verfasserIn]

Yunke Sun [verfasserIn]

Pengcheng Hu [verfasserIn]

Jiubin Tan [verfasserIn]

Zhigang Fan [verfasserIn]

Format:

E-Artikel

Sprache:

Englisch

Erschienen:

2022

Schlagwörter:

grating interferometry

heterodyne interferometry

displacement measurement

Übergeordnetes Werk:

In: Photonics - MDPI AG, 2014, 9(2022), 11, p 830

Übergeordnetes Werk:

volume:9 ; year:2022 ; number:11, p 830

Links:

Link aufrufen
Link aufrufen
Link aufrufen
Journal toc

DOI / URN:

10.3390/photonics9110830

Katalog-ID:

DOAJ08366999X

Nicht das Richtige dabei?

Schreiben Sie uns!