Fast chemical thinning of germanium wafers for optoelectronic applications

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Gespeichert in:
Autor*in:

Sanchez-Perez, Clara [verfasserIn]

Garcia, Ivan

Rey-Stolle, Ignacio

Format:

E-Artikel

Sprache:

Englisch

Erschienen:

2022

Schlagwörter:

Reversible bonding

Etch protection

Chemical thinning

Thinned germanium

Thin photovoltaics

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Characterising shape patterns using features derived from best-fitting ellipsoids - Gontar, Amelia ELSEVIER, 2018, a journal devoted to applied physics and chemistry of surfaces and interfaces, Amsterdam

Übergeordnetes Werk:

volume:579 ; year:2022 ; day:30 ; month:03 ; pages:0

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Volltext

DOI / URN:

10.1016/j.apsusc.2021.152199

Katalog-ID:

ELV056410271

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