Wall angle measurement with a scanning probe microscope employing a one-dimensional force sensor

Gespeichert in:
Autor*in:

Griffith, J.E. [verfasserIn]

Hopkins, L.C.

Bryson, C.E.

Berghaus, A.

Snyder, E.J.

Plombon, J.J.

Vasilyev, L.A.

Hecht, M.

Bindell, J.B.

Format:

Artikel

Erschienen:

1997

Systematik:

Umfang:

4

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Journal of vacuum science and technology / B - New York, NY : Inst., 1983, 15(1997), 6, Seite 2189-2192

Übergeordnetes Werk:

volume:15 ; year:1997 ; number:6 ; pages:2189-2192 ; extent:4

Katalog-ID:

OLC1528650247

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