ELECTRONIC STRUCTURE AND TRANSPORT (PACS 71-73) - Excess silicon at the silicon nitride-thermal oxide interface in oxide-nitride-oxide structures

Gespeichert in:
Autor*in:

Gritsenko, V.A. [verfasserIn]

Wong, Hei

Xu, J.B.

Kwok, R.M.

Petrenko, I.P.

Zaitsev, B.A.

Morokov, Yu N.

Novikov, Yu N.

Format:

Artikel

Erschienen:

1999

Umfang:

7

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Journal of applied physics - Melville, NY : AIP, 1937, 86(1999), 6, Seite 3234-3240

Übergeordnetes Werk:

volume:86 ; year:1999 ; number:6 ; pages:3234-3240 ; extent:7

Katalog-ID:

OLC1559868066

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