Nonlinear Time-Optimal Control of a Photolithography Platen

Gespeichert in:
Autor*in:

Redmond, Jim [verfasserIn]

Tucker, Susan

Format:

Artikel

Erschienen:

1997

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Computer modeling and simulation engineering - Thousand Oaks, Calif. : Sage Science Press, 1996, 2(1997), 1, Seite 39-64

Übergeordnetes Werk:

volume:2 ; year:1997 ; number:1 ; pages:39-64

Katalog-ID:

OLC1560446463

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