RF-sputter deposition of Zn-Ge nitride thin films

Gespeichert in:
Autor*in:

Kikkawa, S. [verfasserIn]

Morisaka, H.

Format:

Artikel

Erschienen:

1999

Umfang:

4

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Solid state communications - New York, NY [u.a.] : Elsevier Science, 1963, 112(1999), 9, Seite 513-516

Übergeordnetes Werk:

volume:112 ; year:1999 ; number:9 ; pages:513-516 ; extent:4

Katalog-ID:

OLC1563355884

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