Effect of the transient enhanced diffusion of boron on the characteristics of sub-0.1 mm n-MOSFETS

Gespeichert in:
Autor*in:

Kumashiro, S. [verfasserIn]

Format:

Artikel

Erschienen:

2000

Systematik:

Umfang:

7

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Materials science and engineering / B - Amsterdam [u.a.] : Elsevier, 1988, 71(2000), Seite 148-154

Übergeordnetes Werk:

volume:71 ; year:2000 ; pages:148-154 ; extent:7

Katalog-ID:

OLC1568286910

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