PLASMAS AND ELECTRICAL DISCHARGES - Measurement of negative-ion density in high-density C4F8 plasma using a laser photodetachment technique combined with a millimeter-wave open resonator

Gespeichert in:
Autor*in:

Kono, A. [verfasserIn]

Kato, K.

Format:

Artikel

Erschienen:

2000

Umfang:

3

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Applied physics letters - Melville, NY : AIP, 1962, 77(2000), 4, Seite 495-497

Übergeordnetes Werk:

volume:77 ; year:2000 ; number:4 ; pages:495-497 ; extent:3

Katalog-ID:

OLC1576556085

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