Control of plasma parameters in sheet-shaped electron cyclotron resonance heating plasma supplemented with radio frequency discharge

Gespeichert in:
Autor*in:

Shibata, Kanetoshi [verfasserIn]

Yugami, Noboru

Nishida, Yasushi

Miyazaki, Tadaomi

Format:

Artikel

Erschienen:

1996

Umfang:

6

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Review of scientific instruments - Melville, NY : AIP, 1930, 67(1996), 4, Seite 1502-1507

Übergeordnetes Werk:

volume:67 ; year:1996 ; number:4 ; pages:1502-1507 ; extent:6

Katalog-ID:

OLC1594828229

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