Unintentional hydrogenation of GaN and related alloys during processing

Gespeichert in:
Autor*in:

Pearton, S.J. [verfasserIn]

Abernathy, C.R.

Vartuli, C.B.

Lee, J.W.

MacKenzie, J.D.

Wilson, R.G.

Shul, R.J.

Ren, F.

Zavada, J.M.

Format:

Artikel

Erschienen:

1996

Systematik:

Umfang:

5

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Journal of vacuum science and technology / A - New York, NY : Inst., 1983, 14(1996), 3, 1, Seite 831-835

Übergeordnetes Werk:

volume:14 ; year:1996 ; number:3 ; supplement:1 ; pages:831-835 ; extent:5

Katalog-ID:

OLC1598134353

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