Nucleation and growth kinetics of AlN films on atomically smooth 6H-SiC (0001) surfaces

Gespeichert in:
Autor*in:

Yamada, Satoshi [verfasserIn]

Kato, Jun-ichi

Tanaka, Satoru

Suemune, Ikuo

Avramescu, Adrian

Aoyagi, Yoshinobu

Teraguchi, Nobuaki

Suzuki, Akira

Format:

Artikel

Erschienen:

2001

Umfang:

3

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Applied physics letters - Melville, NY : AIP, 1962, 78(2001), 23, Seite 3612-3614

Übergeordnetes Werk:

volume:78 ; year:2001 ; number:23 ; pages:3612-3614 ; extent:3

Katalog-ID:

OLC1604728639

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