Semiconductors - In-Diffusion and Annealing Processes of Substitutional Nickel Atoms in Dislocation-Free Silicon

Gespeichert in:
Autor*in:

Tanaka, Shuji [verfasserIn]

Ikari, Tetsuo

Kitagawa, Hajime

Format:

Artikel

Erschienen:

2001

Systematik:

Umfang:

6

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Japanese journal of applied physics. Part 1, Regular papers, brief communications & review papers - Tokyo : Ōyō Butsuri Gakkai, 1982, 40(2001), 5, A, Seite 3063-3068

Übergeordnetes Werk:

volume:40 ; year:2001 ; number:5 ; supplement:A ; pages:3063-3068 ; extent:6

Katalog-ID:

OLC1608543145

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