Selective electroplating of P-type and N-type areas on semiconductor surfaces

Gespeichert in:
Autor*in:

Karmalkar, S. [verfasserIn]

Oak, S.

Venkatasubramanian, N.

Format:

Artikel

Erschienen:

2002

Umfang:

4

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Microelectronics journal - Oxford : Elsevier Advanced Technology, 1978, 33(2002), 11, Seite 967-970

Übergeordnetes Werk:

volume:33 ; year:2002 ; number:11 ; pages:967-970 ; extent:4

Katalog-ID:

OLC1636982999

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