An analytical model for support loss in micromachined beam resonators with in-plane flexural vibrations

Gespeichert in:
Autor*in:

Hao, Zhili [verfasserIn]

Erbil, Ahmet

Ayazi, Farrokh

Format:

Artikel

Erschienen:

2004

Umfang:

9

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Sensors and actuators / A - Amsterdam [u.a.] : Elsevier, 1990, 109(2004), 1-2, Seite 156-164

Übergeordnetes Werk:

volume:109 ; year:2004 ; number:1-2 ; pages:156-164 ; extent:9

Katalog-ID:

OLC1655370731

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