Voltage-tunable piezoelectrically-transduced single-crystal silicon micromechanical resonators

Gespeichert in:
Autor*in:

Piazza, Gianluca [verfasserIn]

Abdolvand, Reza

Ho, Gavin K.

Ayazi, Farrokh

Format:

Artikel

Erschienen:

2004

Umfang:

8

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Sensors and actuators / A - Amsterdam [u.a.] : Elsevier, 1990, 111(2004), 1, Seite 71-78

Übergeordnetes Werk:

volume:111 ; year:2004 ; number:1 ; pages:71-78 ; extent:8

Katalog-ID:

OLC1657899233

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