Application of glow discharge optical emission spectroscopy to study semiconductors and semiconductor devices

Gespeichert in:
Autor*in:

Dharmadasa, I.M. [verfasserIn]

Ives, M.

Brooks, J.S.

France, G.H.

Brown, S.J.

Format:

Artikel

Erschienen:

1995

Systematik:

Umfang:

4

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Semiconductor science and technology - Bristol : IOP Publ., 1986, 10(1995), 3, Seite 369-372

Übergeordnetes Werk:

volume:10 ; year:1995 ; number:3 ; pages:369-372 ; extent:4

Katalog-ID:

OLC1743033710

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