Amorphous hydrogenated carbon nitride films obtained by plasma-enhanced chemical vapour deposition

Gespeichert in:
Autor*in:

Freire Jr, F.L. [verfasserIn]

Mariotto, G.

Achete, C.A.

Franceschini, D.F.

Format:

Artikel

Erschienen:

1995

Umfang:

5

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Surface & coatings technology - Lausanne : Elsevier Sequoia, 1986, 74(1995), 1, Seite 382-386

Übergeordnetes Werk:

volume:74 ; year:1995 ; supplement:1 ; pages:382-386 ; extent:5

Katalog-ID:

OLC1763152065

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