Capacitive vertical silicon bulk acoustic resonator

Gespeichert in:
Autor*in:

Ayazi, Farrokh [verfasserIn]

Format:

Artikel

Erschienen:

2007

Systematik:

Umfang:

1

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: The journal of the Acoustical Society of America - Melville, NY : AIP, 1929, 122(2007), 2, Seite 698

Übergeordnetes Werk:

volume:122 ; year:2007 ; number:2 ; pages:698 ; extent:1

Katalog-ID:

OLC1775139611

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