Evaluation of OKI SOI technology

Gespeichert in:
Autor*in:

Ikegami, Y. [verfasserIn]

Arai, Y.

Hara, K.

Hazumi, M.

Ikeda, H.

Ishino, H.

Kohriki, T.

Miyake, H.

Mochizuki, A.

Terada, S.

Tsuboyama, T.

Unno, Y.

Format:

Artikel

Erschienen:

2007

Systematik:

Umfang:

6

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Nuclear instruments & methods in physics research / A - Amsterdam : North-Holland Publ. Co., 1984, 579(2007), 2, Seite 706-711

Übergeordnetes Werk:

volume:579 ; year:2007 ; number:2 ; pages:706-711 ; extent:6

Katalog-ID:

OLC1776244834

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