Porous silicon for the development of capacitive microstructures

Gespeichert in:
Autor*in:

Sancho, A. [verfasserIn]

Arizti, F.

Gracia, F.J.

Format:

Artikel

Erschienen:

2009

Umfang:

5

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Microelectronic engineering - Amsterdam [u.a.] : Elsevier, 1983, 86(2009), 11 vom: Nov., Seite 2144-2149

Übergeordnetes Werk:

volume:86 ; year:2009 ; number:11 ; month:11 ; pages:2144-2149 ; extent:5

Katalog-ID:

OLC1865337668

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