3-D Ultrasonic Fingerprint Sensor-on-a-Chip

A fully integrated 3-D ultrasonic fingerprint sensor-on-a-chip is presented. The device consists of a <inline-formula> <tex-math notation="LaTeX">110\times 56 </tex-math></inline-formula> piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT) array bonded at the w...
Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Autor*in:

Tang, Hao-Yen [verfasserIn]

Lu, Yipeng

Jiang, Xiaoyue

Ng, Eldwin J

Tsai, Julius M

Horsley, David A

Boser, Bernhard E

Format:

Artikel

Sprache:

Englisch

Erschienen:

2016

Schlagwörter:

Impedance

Fingerprint sensor

Transducers

Acoustics

high voltage

wafer bonding

piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT)

Ultrasonic transducers

Epidermis

Fingerprint recognition

sensor-on-a-chip

ultrasonic

Imaging

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: IEEE journal of solid state circuits - New York, NY : IEEE, 1966, 51(2016), 11, Seite 2522-2533

Übergeordnetes Werk:

volume:51 ; year:2016 ; number:11 ; pages:2522-2533

Links:

Volltext
Link aufrufen

DOI / URN:

10.1109/JSSC.2016.2604291

Katalog-ID:

OLC1984621092

Nicht das Richtige dabei?

Schreiben Sie uns!