Preparation of ZnO films on sapphire (01$$\bar 1$$2) substrates by low-pressure organometallic chemical vapour deposition

Gespeichert in:
Autor*in:

Kobayasm, K. [verfasserIn]

Matsubara, T.

Matsushima, S.

Shirakata, S.

Isomura, S.

Okada, G.

Format:

Artikel

Sprache:

Englisch

Erschienen:

1996

Schlagwörter:

Polymer

Sapphire

Chemical Vapour Deposition

Vapour Deposition

Chemical Vapour

Anmerkung:

© Chapman & Hall 1996

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Journal of materials science / Letters - Kluwer Academic Publishers, 1982, 15(1996), 5 vom: Jan., Seite 457-459

Übergeordnetes Werk:

volume:15 ; year:1996 ; number:5 ; month:01 ; pages:457-459

Links:

Volltext

DOI / URN:

10.1007/BF00277198

Katalog-ID:

OLC2072994462

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