Growth Mechanism of PbTiO3 Films by Metal Organic Chemical Vapor Deposition from Pb(DPM)2, Ti(DPM)2(i-OPr)2 and O2

Gespeichert in:
Autor*in:

Nishioka, K. [verfasserIn]

Osawa, T.

Format:

Artikel

Sprache:

Englisch

Erschienen:

1998

Schlagwörter:

Polymer

Organic Chemical

Chemical Vapor Deposition

Vapor Deposition

Chemical Vapor

Anmerkung:

© Kluwer Academic Publishers 1998

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Journal of materials science / Letters - Kluwer Academic Publishers, 1982, 17(1998), 19 vom: Okt., Seite 1653-1655

Übergeordnetes Werk:

volume:17 ; year:1998 ; number:19 ; month:10 ; pages:1653-1655

Links:

Volltext

DOI / URN:

10.1023/A:1006650229131

Katalog-ID:

OLC2073011209

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