Towards the implanting of ions and positioning of nanoparticles with nm spatial resolution

Abstract Decreasing structure sizes in both conventional and quantum solid state devices require novel fabrication methods: we present a technology which allows to implant ions through a small hole in the tip of an atomic force microscope. This technique offers a maskless addressing of small structu...
Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Autor*in:

Meijer, J. [verfasserIn]

Pezzagna, S.

Vogel, T.

Burchard, B.

Bukow, H.H.

Rangelow, I.W.

Sarov, Y.

Wiggers, H.

Plümel, I.

Jelezko, F.

Wrachtrup, J.

Schmidt-Kaler, F.

Schnitzler, W.

Singer, K.

Format:

Artikel

Sprache:

Englisch

Erschienen:

2008

Schlagwörter:

Atomic Force Microscope

Atomic Force Microscope System

Atomic Force Microscope Operation

Nanoparticle Beam

Atomic Force Microscope Device

Systematik:

Anmerkung:

© Springer-Verlag 2008

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Applied physics. A, Materials science & processing - Springer-Verlag, 1981, 91(2008), 4 vom: 01. Mai, Seite 567-571

Übergeordnetes Werk:

volume:91 ; year:2008 ; number:4 ; day:01 ; month:05 ; pages:567-571

Links:

Volltext

DOI / URN:

10.1007/s00339-008-4515-1

Katalog-ID:

OLC2074185847

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