A method for determining ultrathin DLC film thickness by spectroscopic ellipsometry

Abstract The accurate measurement of ultrathin DLC overcoat thickness becomes a key factor in the research and fabrication of advanced magnetic recording heads and media with the ever-decreasing head-media spacing. Spectroscopic ellipsometry can meet this requirement when the suitable measurement me...
Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Autor*in:

Zhao, J. M. [verfasserIn]

Yang, P. [verfasserIn]

Format:

E-Artikel

Sprache:

Englisch

Erschienen:

2012

Schlagwörter:

Optical Constant

Spectroscopic Ellipsometry

Spectroscopic Ellipsometry Measurement

Spectroscopic Ellipsometry Data

Magnetic Recording Head

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Microsystem technologies - Berlin : Springer, 1994, 18(2012), 9-10 vom: 24. Juni, Seite 1455-1461

Übergeordnetes Werk:

volume:18 ; year:2012 ; number:9-10 ; day:24 ; month:06 ; pages:1455-1461

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Volltext

DOI / URN:

10.1007/s00542-012-1571-4

Katalog-ID:

SPR006825060

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