Extended fine structure of auger spectra of thermally oxidized silicon surface

Abstract The data are presented on the evolution of the shape and position of the L23VV Auger line for the surface of single-crystal silicon Si(111) during its thermal oxidation. The fine structure of the high-energy region of the Auger spectrum is found to be related to the loss of energy by Auger...
Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Autor*in:

Troyan, V. I. [verfasserIn]

Loginov, V. B. [verfasserIn]

Borisyuk, P. V. [verfasserIn]

Vasil’ev, O. S. [verfasserIn]

Format:

E-Artikel

Sprache:

Englisch

Erschienen:

2015

Schlagwörter:

Auger

Silicon Surface

Auger Electron

Colloid Journal

Auger Spectrum

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Colloid journal - Moscow : MAIK Nauka/Interperiodica, 2000, 77(2015), 5 vom: Sept., Seite 635-640

Übergeordnetes Werk:

volume:77 ; year:2015 ; number:5 ; month:09 ; pages:635-640

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Volltext

DOI / URN:

10.1134/S1061933X1505018X

Katalog-ID:

SPR011642750

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