Influence of thin dielectric layers on electron emission and plasma-surface contact stability

Abstract Results from the microscopic analysis of dielectric films on the surfaces of plasma-faced electrodes are presented. It is shown that thin films of 4–10 nm can cause unstable current flows that lead to the onset of auto-oscillations. Thick films of more than 50 nm undergo breakdowns accompan...
Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Autor*in:

Gutorov, K. M. [verfasserIn]

Vizgalov, I. V. [verfasserIn]

Markina, E. A. [verfasserIn]

Kurnaev, V. A. [verfasserIn]

Format:

E-Artikel

Sprache:

Englisch

Erschienen:

2010

Schlagwörter:

Oxide Film

Dielectric Film

Silicon Oxide Film

Deposit Silicon Oxide

Calculated Thickness

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Bulletin of the Russian Academy of Sciences - New York, NY : Allerton Press, 2007, 74(2010), 2 vom: Feb., Seite 188-191

Übergeordnetes Werk:

volume:74 ; year:2010 ; number:2 ; month:02 ; pages:188-191

Links:

Volltext

DOI / URN:

10.3103/S106287381002019X

Katalog-ID:

SPR023154764

Nicht das Richtige dabei?

Schreiben Sie uns!