Preparation of H-terminated and aminated diamond like carbon surfaces

Abstract H-terminated DLC layers were synthesized on $ SiO_{2} $ substrate by radio frequency (RF) magnetron plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) in a conventional reactor using $ C_{4} %$ H_{10} $ as carbon source. As-deposited DLC films were characterized by Raman spectroscopy, scanni...
Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Autor*in:

Wang, Mei [verfasserIn]

Wang, Weichen

Huang, Yujie

Li, Musen

Format:

E-Artikel

Sprache:

Englisch

Erschienen:

2012

Schlagwörter:

diamond like carbon

plasma-enhanced chemical vapor deposition

amination

Anmerkung:

© The Nonferrous Metals Society of China and Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2012

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: Rare metals - Beijing : Yejin Gongye Chubanshe, 1989, 31(2012), 2 vom: 30. März, Seite 189-192

Übergeordnetes Werk:

volume:31 ; year:2012 ; number:2 ; day:30 ; month:03 ; pages:189-192

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Volltext

DOI / URN:

10.1007/s12598-012-0489-4

Katalog-ID:

SPR026250179

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