Effects of Facet Growth and Nucleation on Microcrystalline Silicon by Numerical Model

Abstract We have presented a model of microcrystalline silicon (μc-Si) growth based on the Van der Drift model. The model needs growth velocities of the facets (100) and (111), an amorphous silicon growth velocity and a grain nucleation rate. The growth velocity ratio of the facets, (100) and (111),...
Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Autor*in:

Kobayashi, Yasuyuki [verfasserIn]

Satake, Koji [verfasserIn]

Format:

E-Artikel

Sprache:

Englisch

Erschienen:

2003

Übergeordnetes Werk:

Enthalten in: MRS online proceedings library - Warrendale, Pa. : MRS, 1998, 808(2003), 1 vom: Dez., Seite 503-508

Übergeordnetes Werk:

volume:808 ; year:2003 ; number:1 ; month:12 ; pages:503-508

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Volltext

DOI / URN:

10.1557/PROC-808-A9.29

Katalog-ID:

SPR042337399

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