Electron beam induced effects on gas adsorption utilizing auger electron spectroscopy: Co and O"2 on Si - I. Adsorption studies

The effect of electron beam monitored gas adsorption on the clean Si surface is studied using Auger electron spectroscopy. It is shown that the beam affects the AES adsorption signal of CO and O"2 on Si by dissociating the adsorbed molecules on the surface and subsequently promoting diffusion o...
Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Autor*in:

Kirby, R.E.

Lichtman, D.

Format:

E-Artikel

Sprache:

Englisch

Erschienen:

1974

Reproduktion:

Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect 1907 - 2002

Übergeordnetes Werk:

in: Surface Science - Amsterdam : Elsevier, 41(1974), 2, Seite 447-466

Übergeordnetes Werk:

volume:41 ; year:1974 ; number:2 ; pages:447-466

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Katalog-ID:

NLEJ179957775

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